電子束蒸發(fā)靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可提供種類齊全的熱蒸發(fā)靶材，電子束蒸發(fā)靶材，標準顆粒尺寸為：φ2*5mm，φ3*3mm，φ6*6mm，加料預熔方便，產(chǎn)品純度99.99-99.999%。并且可提供配套蒸發(fā)舟，蒸發(fā)線圈，坩堝等

貴（gui）金屬材料金顆粒 銀顆粒 鉑顆粒 鈀顆粒

常規(guī)金屬材料鋁顆粒 銅顆粒 鈦顆粒 鎳顆粒 鉻顆粒

合金材料金鍺合金  金鍺鎳合金  金錫合金 鎢鈦合金

配套坩堝銅坩堝 鎢坩堝 鉬坩堝 石墨坩堝 氮化硼坩堝

背靶綁定服務

鑒于陶瓷靶材導熱性能不好、易裂的特點，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無氧銅背靶，進行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結層厚度（mm） 0.2±0.003

導熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6

靶材綁定服務1

綁定服務Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中裂靶，中諾新材可為客戶提供綁定（Bonding）服務，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護靶材免于運送或者拿取中的意外開裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時機械強度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命