導軌必需維持潔凈，需要使用浸泡過潔凈航空油或無水乙醇的脫脂棉或絲綢布來擦拭；在裝、卸零配件時要尤其注意，防止磕碰導軌。

   光柵尺的保養(yǎng)直觀影響讀數的精度，Z軸光柵尺露在外部環(huán)境中，而X和Y向光柵尺被外罩蓋。所以要分外注意Z軸光柵尺，防止刮痕。運用浸過潔凈航空油絲綢布來擦拭，讓光柵尺干燥。

   要定期擦洗過濾器，當發(fā)現過濾器的濾芯變色，就得擦洗。取下塑料杯、濾網，用中性清潔劑擦洗，再使用潔凈的氣體吹干。從頭裝上后，測量工作壓力，有必須就調節(jié)它。