電子束蒸發(fā)靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可提供種類齊全的熱蒸發(fā)靶材，電子束蒸發(fā)靶材，標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺寸為：φ2*5mm，φ3*3mm，φ6*6mm，加料預(yù)熔方便，產(chǎn)品純度99.99-99.999%。并且可提供配套蒸發(fā)舟，蒸發(fā)線圈，坩堝等

貴（gui）金屬材料金顆粒 銀顆粒 鉑顆粒 鈀顆粒

常規(guī)金屬材料鋁顆粒 銅顆粒 鈦顆粒 鎳顆粒 鉻顆粒

合金材料金鍺合金  金鍺鎳合金  金錫合金 鎢鈦合金

配套坩堝銅坩堝 鎢坩堝 鉬坩堝 石墨坩堝 氮化硼坩堝

靶材綁定服務(wù)1

綁定服務(wù)Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中裂靶，中諾新材可為客戶提供綁定（Bonding）服務(wù)，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護(hù)靶材免于運(yùn)送或者拿取中的意外開裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時(shí)機(jī)械強(qiáng)度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。掃描電鏡（SEM）常用金、鉑、銀等靶材進(jìn)行導(dǎo)電處理，來(lái)降低樣品荷電現(xiàn)象，以提高圖像質(zhì)量，保持樣品真實(shí)的表面形貌特征。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時(shí)支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命

鉬合金，是以鉬為基體加入其他元素而構(gòu)成的有色合金。主要合金元素有鈦、鋯、鉿、鎢及稀土元素。鈦、鋯、鉿元素不僅對(duì)鉬合金起固溶強(qiáng)化作用，保持合金的低溫塑性，而且還能形成穩(wěn)定的、彌散分布的碳化物相，提高合金的強(qiáng)度和再結(jié)晶溫度。

鉬合金有良好的導(dǎo)熱、導(dǎo)電性和低的膨脹系數(shù)，在高溫下(1100~1650℃)有高的強(qiáng)度，比鎢容易加工。