冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無(wú)污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢(shì)，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測(cè)試設(shè)備、太陽(yáng)能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。優(yōu)勢(shì)編輯(1)低溫泵在獲取潔凈和無(wú)油真空方面，具有其他產(chǎn)品無(wú)法相比的優(yōu)勢(shì)。

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。般說(shuō)來(lái)，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí)，水的蒸氣壓已低于  帕。溫度為20K時(shí)，除氦、*和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于  帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對(duì)于室溫下的容器，低溫板為20K時(shí)，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。給水泵作用就比較簡(jiǎn)單了，就是把除氧器的水經(jīng)過(guò)高加后送到鍋爐里面。

式結(jié)構(gòu)：適于埋裝在地下，不會(huì)受電動(dòng)機(jī)熱風(fēng)、空氣溫度和日照等影響，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量；立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。對(duì)稱結(jié)構(gòu)：泵的總體結(jié)構(gòu)力求對(duì)稱布置，以便在冷態(tài)下能均勻變形。冷頭一般采用二級(jí)機(jī)構(gòu)，一級(jí)達(dá)到80K,二級(jí)達(dá)到溫度10K。雙層殼體：為了保冷方便和有利于輸送危險(xiǎn)介質(zhì)，通常都制成雙層殼體，內(nèi)殼里面承受泵壓，內(nèi)外殼之間是吸入壓力，這樣可適當(dāng)降低內(nèi)殼的強(qiáng)度要求。外殼需做成真空夾層，已達(dá)到隔熱效果。