二手美國ZYGO激光平面干涉儀光學(xué)檢測干涉儀球面檢測干涉儀

指標(biāo)

1.測量技術(shù)：快速機(jī)械相移模式QPSI

           經(jīng)典機(jī)械相移干涉模式PSI

2.激光光源：大功率穩(wěn)頻氦一氖激光，Ⅲa級

3.波長：633 nm

4.頻率穩(wěn)定度：<0.0001 nm

5.相干長度：>100 m

6.5.3M像素相機(jī)           1.4M像素相機(jī)（可選）

  分辨率：2304*2304      分辨力：1200*1200/600*600

  幀速：210Hz            幀速：50Hz/82Hz

  數(shù)位：8位              數(shù)位：10位

  快門時間：200us-10ms   快門時間>12us

7.數(shù)據(jù)采集時間：      130-300ms

8.放大：              1—50×數(shù)字式（選1.2KCCD時可選

                      配1×，1.7×，3×分立方放大）

9.偏振：              接近圓偏振（1.2:1或者更好）

10.光瞳調(diào)焦范圍：     4英寸：±2.5m；6英寸：±5.5m

11.RMS重復(fù)性         <0.06nm，/10.00（2q）

12.RMS波前重復(fù)性     <0.35nm,/1800（mean+2q）

   像素峰值偏差       <0.5nm,/1200（99.5th%）