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測(cè)力傳感器有哪些范圍？

目前高l精度測(cè)力傳感器大多都是利用MEMS技術(shù)在單晶硅片上加工出真空腔體和惠斯登電橋，然后經(jīng)過溫度補(bǔ)償和校準(zhǔn)后，這樣的傳感器具有體積小，精度高，響應(yīng)快，不受溫度變化影響等優(yōu)點(diǎn)。

一般人們都認(rèn)為測(cè)力傳感器只能用來測(cè)量氣體的壓強(qiáng)大小，其實(shí)它還可以利用氣壓和海拔高度的對(duì)應(yīng)關(guān)系用來測(cè)量當(dāng)前的海拔高度，汽車的車載GPS接收機(jī)也同樣采用了測(cè)力傳感器。

影響測(cè)力傳感器穩(wěn)定性的因素

彈性元件的金屬材料

彈性元件的金屬材料對(duì)測(cè)力傳感器的綜合性能和長期穩(wěn)定性起關(guān)鍵作用。應(yīng)選擇強(qiáng)度極限和彈性極限高，彈性模量的時(shí)間、溫度穩(wěn)定性好，彈性滯后小，機(jī)械加工和熱處理產(chǎn)生的殘余應(yīng)力小的材料。

機(jī)械加工與熱處理工藝

彈性元件在機(jī)械加工過程中，由于表面變形的不均勻產(chǎn)生較大的殘余應(yīng)力，切削用量越大，殘余應(yīng)力就越大，磨削加工產(chǎn)生的殘余應(yīng)力較大。因此應(yīng)制訂合理的加工工藝和規(guī)定適當(dāng)?shù)那邢饔昧?。彈性元件在熱處理過程中，由于冷卻溫度不均勻和金屬材料相變等原因，在芯部和表層產(chǎn)生方向不同的殘余應(yīng)力，其芯部為拉應(yīng)力，表層為壓應(yīng)力。必須通過回火處理工藝，在其內(nèi)部產(chǎn)生方向相反的應(yīng)力，與殘余應(yīng)力相互抵消，減少殘余應(yīng)力的影響。

影響測(cè)力傳感器穩(wěn)定性的因素

電阻應(yīng)變計(jì)與應(yīng)變粘結(jié)劑

電阻應(yīng)變計(jì)應(yīng)具有較佳性能，要求靈敏系數(shù)穩(wěn)定性好，熱輸出小，機(jī)械滯后和蠕變小，應(yīng)變量為1000×10-6時(shí)疲勞壽命可達(dá)108，電阻值偏差小，批次質(zhì)量均一性好等。應(yīng)變粘結(jié)劑應(yīng)具有粘結(jié)強(qiáng)度大，抗剪強(qiáng)度高；彈性模量較大且穩(wěn)定；電絕緣性能好；具有與彈性元件相同或相近的熱膨脹系數(shù)；蠕變和滯后??；固化時(shí)膠層體積收縮小等。粘貼電阻應(yīng)變計(jì)時(shí)一定要嚴(yán)格控制膠層厚度，因?yàn)檎辰Y(jié)強(qiáng)度隨膠層厚度的增加而降低。

制造工藝流程

應(yīng)變式測(cè)力傳感器的工作原理和總體結(jié)構(gòu)決定了，在生產(chǎn)工藝流程中有些工序必須手工操作，人為的因素對(duì)測(cè)力傳感器的質(zhì)量影響較大。因此必須制訂科學(xué)合理并可重復(fù)的制造工藝流程，并在其中增加電子計(jì)算機(jī)控制的自動(dòng)化或半自動(dòng)化工序，盡量減少人為因素對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。