光刻膠品牌 Futurrex 低溫光刻膠 低溫光刻膠品牌
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商品參數(shù)
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商品介紹
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可售賣地 全國
聚焦補償 -15μm
運輸方式 貨運及物流
膜厚 54μm
耐溫 150度
縱橫比 4.5
掩模尺寸 12μm
光刻膠型號 NR5-8000
曝光能量 1100 mJ/cm22
產(chǎn)品編號 12135542
商品介紹
北京賽米萊德貿(mào)易有限公司主營:光刻膠




正性光刻膠

正性光刻膠

正性光刻膠也稱為正膠。正性光刻膠樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛,提供光刻膠的粘附性、化學(xué)抗蝕性,當(dāng)沒有溶解存在時,線性酚醛樹脂會溶解在顯影液中,感光劑是光敏化合物,常見的是重氮萘醌(DNQ)。在曝光前,DNQ是一種強烈的溶解,降低樹脂的溶解速度。在紫外曝光后,DNQ在光刻膠中化學(xué)分解,成為溶解度增強劑,大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應(yīng)會在DNQ中產(chǎn)生羧酸,它在顯影液中溶解度很高。正性光刻膠具有很好的對比度,所以生成的圖形具有良好的分辨率。


光刻膠京東方

事實上,我國是在缺乏經(jīng)驗、缺乏專業(yè)技術(shù)人才,缺失關(guān)鍵上游原材料的條件下,全靠自己摸索。近年來,盡管光刻膠研發(fā)有了一定突破,但國產(chǎn)光刻膠還是用不起來。目前,國外阻抗已達到15次方以上,而國內(nèi)企業(yè)只能做到10次方,滿足不了客戶工藝要求和產(chǎn)品升級的要求,有的工藝雖達標(biāo)了,但批次穩(wěn)定性不好。

“10次方的光刻膠經(jīng)過多次烘烤,由于達不到客戶需求的防靜電作用,不能應(yīng)用到新一代窄邊框等面板上。而國外做到15次方就有了很好的防靜電作用。這還是我們的光刻膠材料、配方、生產(chǎn)工藝方面存在問題。”李中強說。

關(guān)鍵指標(biāo)達不到要求,國內(nèi)企業(yè)始終受制于人。就拿在國際上具有一定競爭實力的京東方來說,目前已建立17個面板顯示生產(chǎn)基地,其中,有16個已經(jīng)投產(chǎn)。但京東方用于面板的光刻膠,仍然由國外企業(yè)提供。


NR77-5000PY

PR1-2000A1 試驗操作流程

PR1-2000A1的厚度范圍可以做到 1500到3500nm,如下以膜厚2900nm為列;

1,靜態(tài)滴膠后以1300轉(zhuǎn)/分速度持續(xù)40秒。同時必須需要在1秒內(nèi)達到從0轉(zhuǎn)/分到1300轉(zhuǎn)/分的升速度;

2,前烘:熱板120度120秒;

3,冷卻至室溫;

4,用波長為365,406,436的波長曝光,

5,在溫度為20-25度,使用RD6浸泡式、噴霧、顯影 ;

6,去除光刻膠,可使用CH3COCH3,RR5,RR41等。





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