日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器

日本Horiba-S500氣體質(zhì)量流量控制器

價(jià)格

訂貨量(臺(tái))

面議

≥1

聯(lián)系人 夏經(jīng)理 經(jīng)理

莸莾莶莸莸获莾莸莽莸莶

發(fā)貨地 北京市房山區(qū)
進(jìn)入商鋪
掃碼查看

掃碼查看

手機(jī)掃碼 快速查看

在線客服

北京華儀通泰環(huán)??萍加邢薰?/p>

店齡5年 企業(yè)認(rèn)證

聯(lián)系人

夏經(jīng)理 經(jīng)理

聯(lián)系電話

莸莾莶莸莸获莾莸莽莸莶

經(jīng)營(yíng)模式

經(jīng)營(yíng)批發(fā)

所在地區(qū)

北京市房山區(qū)

進(jìn)入店鋪
收藏本店

如果這是您的商鋪,請(qǐng)聯(lián)系我們

商品參數(shù)
|
商品介紹
|
聯(lián)系方式
品牌 日本Horiba
價(jià)格 請(qǐng)電話咨詢,謝謝
快遞 德邦、順豐包郵
發(fā)票 增值稅專用發(fā)票
編號(hào) 8420
銷售 選型指導(dǎo)
售后 技術(shù)指導(dǎo),維修服務(wù)
采購 行業(yè)檢測(cè)方案
商品介紹

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。


日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地準(zhǔn)確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細(xì)管,改變毛細(xì)管溫度分布,造成上下游溫差方法,而測(cè)得氣體質(zhì)量流量;不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì),其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量,并通過PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而準(zhǔn)確控制流量,所以特別適用于過程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。

S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。


本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小,工作壓力范圍寬。

閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件,均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。

可任意角度安裝。

電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。



日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

S500 (規(guī)格Type AR111)

外部密封

氟橡膠

接觸氣體材料

SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼

調(diào)節(jié)閥類型

非通電時(shí)常閉

滿量程流量(N2換算流量)

10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min

流量控制范圍

2%~100%F.S. (0.1~5V DC)

流量測(cè)量范圍

0~100%F.S. (0~5V DC)

響應(yīng)時(shí)間(輸出電壓)

 1秒 (保證 1.5秒以內(nèi)T98) 

工作環(huán)境溫度

5~45℃ (精度保證 15~35℃)

流量精度

±1.0%F.S

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)性

±0.2%F.S.

工作壓差

10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)

大工作(使用)壓力

300kPa(G)

耐壓

3MPa(G)

泄漏率

1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下

流量設(shè)定信號(hào)

0.1~5VDC(2%~100%F.S.)

流量輸出信號(hào)

0~5VDC(0%~100%F.S.)

供電電源

+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下

管路接頭

1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR

安裝角度

任意

電氣接頭

D-Sub 15pin

輸入輸出阻抗

輸入:1MΩ以上 輸出:3mA以下

附加功能

Auto-zero、Auto-close

滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)



聯(lián)系方式
公司名稱 北京華儀通泰環(huán)??萍加邢薰?/span>
聯(lián)系賣家 夏經(jīng)理 (QQ:2881699718)
電話 莵莸莵-莶莽莻莶莸莽莸莶
手機(jī) 莸莾莶莸莸获莾莸莽莸莶
網(wǎng)址 https://www.511718.com
地址 北京市房山區(qū)