日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地準(zhǔn)確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量;不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量，并通過PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而準(zhǔn)確控制流量，所以特別適用于過程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。

S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。

閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。

可任意角度安裝。

電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。

日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)