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旋片真空泵漏油。能夠發(fā)作在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭、定子部件與支座的通孔銜接處，氣鎮(zhèn)閥(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，裝置不當，損壞失效，外表不平整、有雜質(zhì)、粗糙和鑄件疏松等惹起。假如停泵后返油，油會進入氣鎮(zhèn)閥，不關(guān)氣鎮(zhèn)閥可能會漏油，自制橡膠墊時，一定要用耐油橡膠，要依照原設計外形，密封面太大時壓不緊會漏油。

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外漏較多時，排氣口可看到白色蒸汽。而且油標處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級排氣閥處油面有較多氣泡。功率會有所增加。這時，首先應檢查氣鎮(zhèn)閥能否已關(guān)好。由于新泵出廠每臺都在泵口測極限壓力，所以如有外漏現(xiàn)象，應對泵口及管道、閥門、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無油、油孔悶頭漏氣也可形成外漏。內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運動間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封、泵蓋平面、進氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等惹起。磨損、腐蝕、咬合會使運轉(zhuǎn)間隙加大。油孔阻塞時，翻開加油孔聽，泵的噪聲會較輕，在油箱密封良好的狀況下，假如手在排氣口上有被吸的覺得，排氣閥可能失效。

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山東博山真空泵廠有限公司是真空泵及壓縮機制造商，技術(shù)同步于美國和德國處于世界領導水平。于公司在中國山東博山，服務于高速發(fā)展的中國大陸和亞太地區(qū)。

半導體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。

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