XRF熒光光譜儀是可以對任何種類的樣品進行元素分析的分析技術，無論分析的樣品是液體、固體、漿料還是粉末。 它是一種可靠的技術，結(jié)合了高精度和準確性以及簡便、快速的樣品制備等優(yōu)點?？梢栽谝髮崿F(xiàn)高處理量的工業(yè)環(huán)境下自動完成使用準備，并且提供定性和定量的樣品相關信息。

XRF熒光譜儀系統(tǒng)通常分為兩大類：波長色散型(WDXRF) 和能量色散型(EDXRF)。

土壤是重金屬污染的主要載體，也是重金屬污染防治，修復的主要目標。摸清土壤污染狀況，監(jiān)測土壤污染動態(tài)是污染防治的基礎。土壤中重金屬污染的分析除了常見的原子吸收，等離子體發(fā)射光譜和等離子體質(zhì)譜法之外，使用zui頻繁的是X射線熒光光譜儀(XRF), 按照儀器設計與檢測原理的不同，XRF產(chǎn)品可分為能量色散EDXRF與波長色散型WDXRF。其中EDXRF有分為臺式與手持式儀器。

   在固體廢棄物，尤其是廢舊電器產(chǎn)品的重金屬檢測(Rohs)指令也日益重要，在這類應用中，臺式EDXRF或便攜手持式XRF經(jīng)常作為有害重金屬元素的初級篩查工具在市場上得以廣泛應用。

X射線熒光光譜技術是一種利用樣品對X射線的吸收隨樣品中的成分及其多少變化而變化來定性或定量測定樣品中成分的方法。

X射線熒光光譜儀在結(jié)構(gòu)上基本由激發(fā)樣品的光源、色散、探測、譜儀控制和數(shù)據(jù)處理等幾部分組成。該X射線熒光光譜法和電感耦合等離子體質(zhì)譜法、發(fā)射光譜法在元素分析結(jié)果之間的差異，結(jié)果顯示它們的差異不顯著。從檢出限、準確度、精密度和回收率方面均能滿足實驗要求。