氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

對于燃油箱的泄漏檢測通常采用水檢法，有時(shí)會(huì)用超聲波檢測作為輔助手段。但是，汽車缸蓋氦氣檢漏回收設(shè)備，用水檢法也面臨著重大挑戰(zhàn)。

首先，塑料燃油箱zui能承受高于大氣壓力幾百毫巴的壓力，氦氣檢漏回收設(shè)備，因此，可產(chǎn)生氣泡的內(nèi)壓很低。此外將燃油箱壓入水中時(shí)，由于燃油箱內(nèi)密封空氣造成的浮力，燃油箱會(huì)受到很大的作用力。

用水檢法進(jìn)行燃油箱檢測時(shí)，通常需要先將燃油箱放在托籠里，再將其放入到水中。托籠需要根據(jù)每個(gè)燃油箱進(jìn)行定制，汽車中冷器氦氣檢漏回收設(shè)備，才能提供合適的機(jī)械支撐，非常繁瑣。另外，將燃油箱壓入水中后，必須清除水（氣泡）中的大量紊流，以使條件能夠穩(wěn)定下來，才能夠準(zhǔn)確無誤地檢測從實(shí)際泄漏中產(chǎn)生的氣泡，稍不注意就無法獲取準(zhǔn)確結(jié)果。

zui的是，水檢法一般來說只能檢測高于10-4 mbar·l/s 的泄漏率，無法檢測出更小的泄漏率。隨著對低排放的要求越來越高，水檢法已經(jīng)無法滿足檢漏要求。