

湖北銳誠真空科技有限公司
主營產(chǎn)品: 檢漏儀
河南動力電池檢漏設(shè)備定制-銳誠-動力電池檢漏方便使用
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鍍膜設(shè)備在傳感器方面的應(yīng)用
在傳感器中,多采用那些電氣性質(zhì)相對于物理量、化學(xué)量及其變化來說,極為敏感的半導(dǎo)體材料。此外,其中大多數(shù)利用的是半導(dǎo)體的表面、界面的性質(zhì),需要盡量增大其面積,且能工業(yè)化、低價格制作、因此采用薄膜的情況很多。
鍍膜設(shè)備在集成電路制造中的應(yīng)用
晶體管路中的保護層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)??梢姎庀喑练e術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。
氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體,對各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測的理想方法。
氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點在于:氦是惰性氣體,真空箱式氦檢漏公司,對大氣無污染,使用安全;氦原子質(zhì)量小,黏度小,易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量?。?ppm),不易受干擾。氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高,速度快,適用范圍廣。
目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀較小可檢漏率可達(dá)到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前,國內(nèi)外比較流行的針對空調(diào)兩器檢漏方法,多采用真空箱法。
