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沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒法也是目前被集成電路企業(yè)所廣泛采用的有機(jī)氣體處理方法。有機(jī)廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪，轉(zhuǎn)輪上的沸石吸附了廢氣中大部份有機(jī)成分，而使廢氣中有機(jī)成分的含量大幅低降低而成為較干凈的空氣，一部分較干凈的氣體排放至大氣中，而另一部份氣體則進(jìn)入再生區(qū)，經(jīng)再生區(qū)后的廢氣則含有高濃度的有機(jī)成分，這樣可降低后續(xù)處理程序的操作成本。

轉(zhuǎn)輪并不是對所有的氣體都能處理。對一些不易處理的廢氣，如易聚合的烯烴炔烴組分（脫附時容易聚合堵塞）、、涂裝行業(yè)UV漆的聚甲酯、聚乙酯等，照樣無能為力。為此，轉(zhuǎn)輪生產(chǎn)廠家在設(shè)計時都會要求用戶提供廢氣的成分和濃度，轉(zhuǎn)輪生產(chǎn)廠家只有拿到這些數(shù)據(jù)后才能進(jìn)行設(shè)計。日本東洋紡設(shè)計處理裝置的基礎(chǔ)就是根據(jù)廢氣中各成分的分子動力學(xué)直徑，來選擇沸石分子篩的，然后再把適合廢氣成分的分子篩按比例搭配，制成轉(zhuǎn)輪的吸附層，這樣，轉(zhuǎn)輪就能準(zhǔn)確地進(jìn)行廢氣處理，達(dá)到用戶的要求。但廠家的供貨周期都較長，這實際上也是一個制造加工精細(xì)化的問題。

沸石分子篩吸附濃縮轉(zhuǎn)輪，其密封系統(tǒng)分處理和再生兩部分，轉(zhuǎn)輪緩慢旋轉(zhuǎn)使吸附過程連續(xù)。當(dāng)廢氣通過處理區(qū)時，其中的廢氣成分被轉(zhuǎn)輪中的吸附劑所吸附，廢氣被凈化而排空，轉(zhuǎn)輪逐漸趨向吸附飽和。同時，在再生區(qū)，高溫空氣穿過吸附飽和的轉(zhuǎn)輪，已吸附的廢氣被脫附并由高溫空氣帶走，從而恢復(fù)轉(zhuǎn)輪的吸附能力，脫附的高溫氣體進(jìn)入氧化處理。

旋轉(zhuǎn)吸附轉(zhuǎn)輪在工作時，吸附與脫附過程一直處于連續(xù)進(jìn)行，脫附出來的濃縮廢氣濃度波動小，避免了固定式吸附床在脫附時所形成的濃度波動，利于控制整個系統(tǒng)的穩(wěn)定、安全運行，且可保證后續(xù)處理單元輸出熱量的穩(wěn)定性。