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無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

然而對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)

符合以下原則：

1、潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過濾器的選擇和布置：對于300,000級空氣凈化處理，可以使用亞過濾器代替過濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對于凈化處理，應(yīng)使用用于初級，中級和過濾器的三級過濾器;中效或空氣過濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風量選擇;中效空氣過濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過濾器。