
Aerotech氣浮轉(zhuǎn)臺及機械高精密轉(zhuǎn)臺
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Aerotech ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺,機械軸承可以帶導(dǎo)電滑環(huán),并且做可以作為陀螺標定使用
1.為超高精度運動而設(shè)計。
2.無刷力矩電機直接驅(qū)動,可選更高速度和力矩電機。
3.突出的速度穩(wěn)定性。
4.卓越的運動性能,誤差小,無抖動
5.有效載荷達230 kg
6.預(yù)裝有集流環(huán)
臺面直徑:146~260mm
反饋分辨率:0.02~4 arc sec
雙向重復(fù)定位精度 0.5 arc sec
定位精度 2.5 arc sec
速度波動率 0.0001%
ARMS130-M-10-NC-LT05AS-SINGLE-CMS
ARMS130-M-10-NC-LT06AS-SINGLE-CMS
ARMS130-M-10-NC-LT26AS-SINGLE-CMS
ARMS130-M-10-NC-LT27AS-SINGLE-CMS
ARMS130-M-10-NC-LT28AS-SINGLE-CMS
Aerotech ALAR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺,精密轉(zhuǎn)臺,大中空,高精度
1.5種不同的孔徑尺寸:100mm,150mm,200mm,250mm,325mm
2.持續(xù)或有限的行程
3.300-1000lb的高軸向負載能力
4.寬大的軸承能提供較高的有效負載和瞬間負載能力
5.卓越的精度和重復(fù)定位精度
6.抖動和跳動小
7.無接頭電機提供平滑運動
8.無回差效應(yīng)
9.精度不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉(zhuǎn)的持續(xù)轉(zhuǎn)速
11.有效負載必須在旋轉(zhuǎn)中心的應(yīng)用的完美選擇,AZ滾動萬向架應(yīng)用的重要選擇
12.10-6torr真空環(huán)境選項可選
孔徑325mm
精度3.9arcsec
負載6463N
ALAR型號:
ALAR-34E-A010
ALAR-34E-A011
ALAR-34E-A012
ALAR-34E-A013
ALAR-34E-A014
ALAR-34E-A015
ALAR-34E-A016
ALAR-34E-A017
Aerotech ABRS超精密轉(zhuǎn)臺,氣浮轉(zhuǎn)臺,扁平造型
ABRS氣浮軸承精密運動轉(zhuǎn)臺擁有一個低矮的外形輪廓,并且能夠提供出眾的角度定位精度,卓越的速度穩(wěn)定性以及極小的運動誤差。ABRS精密轉(zhuǎn)臺的設(shè)計應(yīng)用于硅片檢測,高精度測量,激光衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測和制造以及納米制造技術(shù)。
特點:
1.無刷無槽力矩電機直接驅(qū)動
2.卓越的速度穩(wěn)定性(無齒槽效應(yīng))
3.極佳的運動性能,誤差小,無抖動
4.直連式高精度圓光柵反饋
5.扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計
6.氣浮軸承,無機械接觸
臺面直徑:128~278mm
反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec
雙向重復(fù)定位精度:<1arc sec
定位精度: 2 arc sec
異步軸跳: 20nm
異步徑跳: 20nm
ABRS130-M-10-NC-LT85AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT86AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT87AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT88AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT89AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT90AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT91AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT92AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT93AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT94AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT95AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT96AS-SINGLE-CMS
ABRS130-M-10-NC-LT109AS-SINGLE-CMS
Aerotech APR系列精密轉(zhuǎn)臺
APR系列直接驅(qū)動轉(zhuǎn)臺提供精確的角度定位和速度控制。應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測。
特點:
1.無刷力矩電機直接驅(qū)動
2.無齒槽設(shè)計提供卓越的速度穩(wěn)定性
3.極佳的運動性能,誤差小,無抖動
4.直連式高精度圓光柵反饋
5.高精度機械軸承支撐
6.載荷可達150kg
臺面直徑:57~240mm
反饋分辨率:0.036~13 arc sec
雙向重復(fù)定位精度: 1arc sec
定位精度: 2 arc sec
軸跳: 0.5um
徑跳: 1um
Aerotech ABRT超精密氣浮轉(zhuǎn)臺
1X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計
2
3
4,誤差小,無抖動
5
6
7
臺面直徑100-200mm
分辨率0.027-0.055arcsec
雙向重復(fù)定位精度<1arcsec
定位精度 <2 arc sec
異步軸跳 <20nm
異步徑跳 <20nm
ABRT-E-M-10-NC-LT211AS-SINGLE-CMS
ABRT-E-M-10-NC-LT212AS-SINGLE-CMS
ABRT-E-M-10-NC-LT213AS-SINGLE-CMS
ABRT-E-M-10-NC-LT214AS-SINGLE-CMS
ABRT-E-M-10-NC-LT215AS-SINGLE-CMS
ABRT-E-M-10-NC-LT216AS-SINGLE-CMS
ABRT-E-M-10-NC-LT250AS-SINGLE-CMS
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