AerotechQNPHD系列高動態(tài)壓電納米定位平臺
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產(chǎn)品特性 納米定位
加工定制 Array
特性 Array
功能 Array
型號 QNPHD
貨號 QNPHD
規(guī)格尺寸 1mm
品牌 Aerotech
是否跨境貨源 Array
商品介紹

Aerotech QNPHD系列高動態(tài)壓電納米定位平臺

關(guān)鍵詞:高動態(tài)納米定位平臺/壓電納米平臺/動態(tài)壓電平臺 


設(shè)計特點

  • 閉環(huán)范圍從10μm40μm

  • 直接驅(qū)動執(zhí)行器可加快響應(yīng)時間并提高處理量

  • 高精度,無摩擦的撓性導(dǎo)向

  • 設(shè)備壽命長

  • 具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度

  • 開環(huán)和真空版本

AerotechQNP HD壓電納米定位平臺在一個緊湊的高剛度封裝中提供了平臺和執(zhí)行器的優(yōu)點。QNP HD具有直接測量,電容傳感器反饋選件,高諧振頻率和高負載能力,是各種高速和高精度應(yīng)用的理想選擇,例如掃描探針顯微鏡,磁盤驅(qū)動器測試或半導(dǎo)體晶圓連接。

精確的快速響應(yīng)

 

QNP HD采用直接驅(qū)動的致動設(shè)計和優(yōu)化的結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)毫秒級的響應(yīng)和移動和穩(wěn)定時間。

通過使用有限元分析進行優(yōu)化以確保高剛度和較長設(shè)備壽命的精密撓曲,QNP HD提供了高動力學(xué)性能,同時為關(guān)鍵的納米定位應(yīng)用提供了出色的幾何性能(直線度和角度誤差)。

高分辨率和定位精度

QNP HD使用獨特的電容式傳感器設(shè)計提供閉環(huán)反饋(-C)選項,該設(shè)計允許亞納米分辨率和一位數(shù)納米線性誤差。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出,從而實現(xiàn)出色的精度和可重復(fù)性。

安裝靈活性

QNP HD可提供后部和側(cè)面電纜出口選件,以及水平和垂直方向的安裝功能。這種靈活性使用戶無需設(shè)計會增加尺寸和設(shè)計復(fù)雜性的各種轉(zhuǎn)接板和支架,即可將載物臺定向和包裝為布置。

可選的安裝板可直接安裝到英制或米制光學(xué)面包板桌。可根據(jù)要求提供定制設(shè)計和真空制備版本。


產(chǎn)品參數(shù):

Model

QNPHD30L-10

QNPHD30L-25

QNPHD30L-40

Closed-Loop Travel

10 μm

25 μm

40 μm

Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1)

12 μm

32 μm

50 μm

Resolution(2)

Closed-Loop

0.05 nm

0.10 nm

0.10 nm

Open-Loop

0.02 nm

0.03 nm

0.05 nm

Linearity(3,4)

0.02%

0.02%

0.02%

Bidirectional Repeatability(5)

1 nm

1 nm

2 nm

Pitch/Yaw

5 μrad (1.0 arc sec)

5 μrad (1.0 arc sec)

7.5 μrad (1.5 arc sec)

Stiffness (in direction of motion)(6)

60 N/μm

31 N/μm

29 N/μm

Unloaded Resonant Frequency(6)

7000 Hz

4100 Hz

3500 Hz

Resonant Frequency (200 g load)(6)

2500 Hz

1900 Hz

1700 Hz

Max Payload(7)

Horizontal

2 kg

2 kg

2 kg

Vertical

7 kg

10 kg

10 kg

Maximum Acceleration (Unloaded)(8)

2250 m/s2

1250 m/s2

750 m/s2

Moving Mass (Unloaded)

39 g

54 g

77 g

Stage Mass

0.11 kg

0.15 kg

0.20 kg

Material

Stainless Steel

MTBF (Mean Time Between Failure)

30,000 Hours

更多信息請聯(lián)系于先生 18510085666(同微信)  


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公司名稱 北京高控科技有限公司
聯(lián)系賣家 于洪超 (QQ:2799935409)
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地址 北京市