Aerotech QNPHD系列高動態(tài)壓電納米定位平臺

關(guān)鍵詞：高動態(tài)納米定位平臺/壓電納米平臺/動態(tài)壓電平臺 

設(shè)計特點

• 閉環(huán)范圍從10μm到40μm

• 直接驅(qū)動執(zhí)行器可加快響應(yīng)時間并提高處理量

• 高精度，無摩擦的撓性導(dǎo)向

• 設(shè)備壽命長

• 具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度

• 開環(huán)和真空版本

Aerotech的QNP _HD壓電納米定位平臺在一個緊湊的高剛度封裝中提供了平臺和執(zhí)行器的優(yōu)點。QNP _HD具有直接測量，電容傳感器反饋選件，高諧振頻率和高負載能力，是各種高速和高精度應(yīng)用的理想選擇，例如掃描探針顯微鏡，磁盤驅(qū)動器測試或半導(dǎo)體晶圓連接。

精確的快速響應(yīng)

QNP _HD采用直接驅(qū)動的致動設(shè)計和優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)毫秒級的響應(yīng)和移動和穩(wěn)定時間。

通過使用有限元分析進行優(yōu)化以確保高剛度和較長設(shè)備壽命的精密撓曲，QNP _HD提供了高動力學(xué)性能，同時為關(guān)鍵的納米定位應(yīng)用提供了出色的幾何性能（直線度和角度誤差）。

高分辨率和定位精度

QNP _HD使用獨特的電容式傳感器設(shè)計提供閉環(huán)反饋（-C）選項，該設(shè)計允許亞納米分辨率和一位數(shù)納米線性誤差。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出，從而實現(xiàn)出色的精度和可重復(fù)性。

安裝靈活性

QNP _HD可提供后部和側(cè)面電纜出口選件，以及水平和垂直方向的安裝功能。這種靈活性使用戶無需設(shè)計會增加尺寸和設(shè)計復(fù)雜性的各種轉(zhuǎn)接板和支架，即可將載物臺定向和包裝為布置。

可選的安裝板可直接安裝到英制或米制光學(xué)面包板桌。可根據(jù)要求提供定制設(shè)計和真空制備版本。

產(chǎn)品參數(shù)：

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