
AerotechQNPHD系列高動態(tài)壓電納米定位平臺
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Aerotech QNPHD系列高動態(tài)壓電納米定位平臺
關(guān)鍵詞:高動態(tài)納米定位平臺/壓電納米平臺/動態(tài)壓電平臺
設(shè)計特點
閉環(huán)范圍從10μm到40μm
直接驅(qū)動執(zhí)行器可加快響應(yīng)時間并提高處理量
高精度,無摩擦的撓性導(dǎo)向
設(shè)備壽命長
具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度
開環(huán)和真空版本
Aerotech的QNP HD壓電納米定位平臺在一個緊湊的高剛度封裝中提供了平臺和執(zhí)行器的優(yōu)點。QNP HD具有直接測量,電容傳感器反饋選件,高諧振頻率和高負載能力,是各種高速和高精度應(yīng)用的理想選擇,例如掃描探針顯微鏡,磁盤驅(qū)動器測試或半導(dǎo)體晶圓連接。
精確的快速響應(yīng)
QNP HD采用直接驅(qū)動的致動設(shè)計和優(yōu)化的結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)毫秒級的響應(yīng)和移動和穩(wěn)定時間。
通過使用有限元分析進行優(yōu)化以確保高剛度和較長設(shè)備壽命的精密撓曲,QNP HD提供了高動力學(xué)性能,同時為關(guān)鍵的納米定位應(yīng)用提供了出色的幾何性能(直線度和角度誤差)。
高分辨率和定位精度
QNP HD使用獨特的電容式傳感器設(shè)計提供閉環(huán)反饋(-C)選項,該設(shè)計允許亞納米分辨率和一位數(shù)納米線性誤差。電容式傳感器直接測量定位滑架的輸出,從而實現(xiàn)出色的精度和可重復(fù)性。
安裝靈活性
QNP HD可提供后部和側(cè)面電纜出口選件,以及水平和垂直方向的安裝功能。這種靈活性使用戶無需設(shè)計會增加尺寸和設(shè)計復(fù)雜性的各種轉(zhuǎn)接板和支架,即可將載物臺定向和包裝為布置。
可選的安裝板可直接安裝到英制或米制光學(xué)面包板桌。可根據(jù)要求提供定制設(shè)計和真空制備版本。
產(chǎn)品參數(shù):
Model | QNPHD30L-10 | QNPHD30L-25 | QNPHD30L-40 | |
Closed-Loop Travel | 10 μm | 25 μm | 40 μm | |
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1) | 12 μm | 32 μm | 50 μm | |
Resolution(2) | Closed-Loop | 0.05 nm | 0.10 nm | 0.10 nm |
Open-Loop | 0.02 nm | 0.03 nm | 0.05 nm | |
Linearity(3,4) | 0.02% | 0.02% | 0.02% | |
Bidirectional Repeatability(5) | 1 nm | 1 nm | 2 nm | |
Pitch/Yaw | 5 μrad (1.0 arc sec) | 5 μrad (1.0 arc sec) | 7.5 μrad (1.5 arc sec) | |
Stiffness (in direction of motion)(6) | 60 N/μm | 31 N/μm | 29 N/μm | |
Unloaded Resonant Frequency(6) | 7000 Hz | 4100 Hz | 3500 Hz | |
Resonant Frequency (200 g load)(6) | 2500 Hz | 1900 Hz | 1700 Hz | |
Max Payload(7) | Horizontal | 2 kg | 2 kg | 2 kg |
Vertical | 7 kg | 10 kg | 10 kg | |
Maximum Acceleration (Unloaded)(8) | 2250 m/s2 | 1250 m/s2 | 750 m/s2 | |
Moving Mass (Unloaded) | 39 g | 54 g | 77 g | |
Stage Mass | 0.11 kg | 0.15 kg | 0.20 kg | |
Material | Stainless Steel | |||
MTBF (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours |
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