我國(guó)學(xué)者對(duì)不同時(shí)期WDXRF的進(jìn)展曾予以評(píng)述。WDXRF譜儀從儀器光路結(jié)構(gòu)來(lái)看，依然是建立在布拉格定律基礎(chǔ)之上，但儀器面目全新?？v觀30年來(lái)的發(fā)展軌跡，可總結(jié)出如下特點(diǎn) 。

定性和半定量分析自動(dòng)化。在20世紀(jì)80年代，由有經(jīng)驗(yàn)的分析工作者通過(guò)查閱掃譜圖來(lái)判斷定性分析結(jié)果，但要依據(jù)定性分析結(jié)果估算為含量是十分困難的。現(xiàn)在商品儀器基本上配有定性和無(wú)標(biāo)準(zhǔn)樣(半)定量分析軟件，在絕大多數(shù)情況下不僅自動(dòng)給出樣品的元素組成，還可得出近似定量的分析結(jié)果。

當(dāng)樣品與聚焦點(diǎn)距離變化在-20μm～20 μm時(shí),激發(fā)出的Fe、Cu、Zn、S的強(qiáng)度值。X射線熒光光譜分析測(cè)定金屬膜層的厚度,其測(cè)量值與實(shí)際值偏差不大。該儀器還可以獲取清晰的以不同材料為基底的指紋圖像,在玻璃基底上獲取的指紋紋理更清晰。微區(qū)X射線熒光光譜無(wú)損分析可得到類似切割板的多元素分布圖,是分析元素分布規(guī)律的一種較快的方法,能快速測(cè)出金屬膜層的厚度,高效率提取指紋。通過(guò)蘭坪盆地鉛鋅銅多金屬成礦區(qū)帶典型礦山地區(qū)1:50000地質(zhì)調(diào)查,采集云龍縣的山坡、林地、草地等的土壤樣品400多件,用波長(zhǎng)色散-能量色散復(fù)合型X射線熒光光譜儀測(cè)量土壤重金屬含量。得到土壤中重金屬元素的平均值、中位值等,發(fā)現(xiàn)Zn和Pb元素含量的值點(diǎn)在同一位置點(diǎn),在河庫(kù)旁干涸處草地。Cu、Pb、Zn、As、Sb、Cd元素含量值的采樣點(diǎn)均在水流附近,其中Cd元素的值點(diǎn)位于沘江附近,Cu、Pb、Zn、As、Sb、Cd等元素可能通過(guò)水流遷移。通過(guò)研究區(qū)不同類型土壤表層中重元素的含量和分布特征,為調(diào)查礦區(qū)及周邊水文地質(zhì)條件、礦山開(kāi)采帶來(lái)的主要環(huán)境地質(zhì)問(wèn)題提供依據(jù)。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜是根據(jù)被測(cè)元素的原子或離子，在光源中被激發(fā)而產(chǎn)生特征輻射，通過(guò)判斷這種特征輻射的存在及其強(qiáng)度的大小，對(duì)各元素進(jìn)行定性和定量分析。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法應(yīng)用于環(huán)境水樣、土壤樣品中的微量元素進(jìn)行分析，在元素分析測(cè)試中的應(yīng)用技術(shù)具有簡(jiǎn)便、快速、分析速度快;檢出限低，多數(shù)可達(dá)0.005μg/ml以下;測(cè)量動(dòng)態(tài)線性范圍寬，一般可達(dá)5～6個(gè)數(shù)量級(jí)，可同時(shí)進(jìn)行高含量元素和低含量元素的分析，可達(dá)到石墨爐原子吸收光譜儀的部分檢出水平;可多種元素同時(shí)分析，可定性、定量分析金屬元素，也可分析部分非金屬元素，提高了分析效率，基體效應(yīng)小，低背景干擾、高信噪比、精密度高、準(zhǔn)確性好等優(yōu)點(diǎn)。