高純度鈦靶材 耐腐蝕鈦圓靶規(guī)格齊全按需定制加工博科金屬

溫馨提示：我公司產(chǎn)品可根據(jù)客戶需求加工定制，根據(jù)材質(zhì)、規(guī)格不同，價格有所不同，故以上價格參數(shù)僅供參考，詳情請來電咨詢 ，咨詢電話13571763445（微信同號）王經(jīng)理。

靶材的主要性能要求:

純度

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中，對靶材的純度要求也不盡相同。例如，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求，而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔，提高濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率，還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結(jié)構(gòu)，晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材，晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快；而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

寶雞博科金屬制品有限公司位于工業(yè)重城，素有“鈦城”美譽的--寶雞。公司依托“中國鈦城”的強大綜合實力，進(jìn)行的資源共享，具備得天獨厚的地域、材料、等優(yōu)勢，為用戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品。

我公司主要生產(chǎn)鈦及鈦合金的鍛件、鈦板、鈦棒、鈦管、鋯板、鋯棒、鋯鑄件及鈦鑄件，鎢、鉬、鉭、鈮、鉿等有色金屬的產(chǎn)品。公司產(chǎn)品遍布海內(nèi)外，國內(nèi)市場包括:北京、廣州、上海、天津、四川、內(nèi)蒙、山東、江蘇等地;國際市場包括：美國、日本、德國、澳大利亞、加拿大、東南亞等地區(qū)，產(chǎn)品質(zhì)量受到一致好評，建立很多長期合作關(guān)系。

我公司堅持以人為本的管理理念，以科技為支撐、以創(chuàng)新為動力、以質(zhì)量求發(fā)展、以誠信為生命，努力打造成為鈦制品行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)。追求客戶與公司的共同發(fā)展，歡迎各行業(yè)新老客戶來電來函洽談業(yè)務(wù)！