KLA臺(tái)階儀 D-600 探針式 表面輪廓儀 接觸式 高精度

    Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測(cè)量。 D-600包括一個(gè)電動(dòng)200毫米樣品卡盤和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。

產(chǎn)品描述

    Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無(wú)關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。通過(guò)測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

·       臺(tái)階高度：幾納米至1200μm

·       低觸力：0.03至15mg

·       視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

·       梯形失真校正：側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

·       圓弧校正：由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

·       緊湊尺寸：占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀

·       軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

·       臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度

·       紋理：2D粗糙度和波紋度

·       形式：2D翹曲和形狀

·       應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

·       大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

·       半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

·       SIMS：二次離子質(zhì)譜

·       LED：發(fā)光二極管

·       太陽(yáng)能

·       MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

·       汽車

·       設(shè)備

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