SENDURO 全自動(dòng)光譜橢偏儀,

SENDURO 全自動(dòng)光譜橢偏儀包括基于測(cè)量處方的僅在幾秒鐘內(nèi)即可完成的快速數(shù)據(jù)分析。橢圓儀的設(shè)計(jì)是為了便于操作：放置樣品，自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)，自動(dòng)測(cè)量和分析結(jié)果。在全自動(dòng)模式下使用光譜橢偏儀非常適合于質(zhì)量控制和研發(fā)中的常規(guī)應(yīng)用。

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)

光譜橢偏儀SENDURO? 所有的全自動(dòng)光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動(dòng)地對(duì)準(zhǔn)樣品的麻煩，這對(duì)于高精度和可重復(fù)的光譜橢偏是必要的。該專利的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)傳感器大大減少了操作誤差，適用于透明和反射樣品，即使在彎曲的樣品上也可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)掃描。

操作簡(jiǎn)單

配方模式非常適合于生產(chǎn)，工藝監(jiān)控以及研發(fā)的常規(guī)應(yīng)用。該光譜橢偏儀帶有隨機(jī)可的配方數(shù)據(jù)庫，可以根據(jù)您的具體需要對(duì)其進(jìn)行修改。

步進(jìn)掃描分析器

步進(jìn)掃描分析器SSA是SENTECH光譜橢偏技術(shù)的一個(gè)獨(dú)有特征。分析樣品的總時(shí)間只需幾秒鐘。

SENDURO? 可測(cè)量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO? 自動(dòng)掃描則實(shí)現(xiàn)了較高的樣品速度，化安裝工作量和低的維護(hù)成本。該光譜橢偏儀的自動(dòng)掃描具有預(yù)定義或用戶定義的模式、允許廣泛的統(tǒng)計(jì)特性和數(shù)據(jù)圖形顯示。

SENDURO? 是SENTECH自動(dòng)化，占地面積小，設(shè)計(jì)緊湊的橢偏儀的代表。測(cè)量臺(tái)包括橢偏儀光學(xué)部件、自動(dòng)傾斜和高度傳感器、電動(dòng)樣品臺(tái)和控制器電子設(shè)備，它們?nèi)烤o湊的組合。為了達(dá)到更高產(chǎn)量的要求，我們的光譜橢偏儀也提供了片盒站裝載尺寸到300 mm的大晶片。

SENDURO? 以其高樣品測(cè)量速度，易于操作和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)在工業(yè)應(yīng)用中表現(xiàn)出色。應(yīng)用范圍從半導(dǎo)體上的介質(zhì)膜到玻璃上的多層光學(xué)涂層。

SENDURO? 優(yōu)異的光譜橢偏軟件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重復(fù)應(yīng)用程序的簡(jiǎn)單執(zhí)行。密碼控制的用戶登錄允許不同級(jí)別的用戶登錄。在交互模式下，橢偏測(cè)量通過交互式的，指導(dǎo)性的圖形用戶界面得到增強(qiáng)。此外，可以使用材料數(shù)據(jù)庫和散射模型修改已經(jīng)存在的配方或建立新的配方。

SENDURO?

優(yōu)勢(shì):
? 高測(cè)量速率
? 全自動(dòng)樣品校準(zhǔn)
? 可測(cè)量透明和吸收基底
? 按鍵式操作
? 友好的軟件界面
? 高測(cè)量精度
? 最簡(jiǎn)化安裝過程

分析一個(gè)樣品的時(shí)間只需不到10秒鐘，這個(gè)時(shí)間包括了所有必要的步驟：
? 放置樣品
? 點(diǎn)擊開始測(cè)量按鈕，進(jìn)行如下步驟
o自動(dòng)樣品校準(zhǔn)
o測(cè)量數(shù)據(jù)
o計(jì)算
o輸出結(jié)果
? 取出樣品

SENDURO把使用者從煩瑣的手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對(duì)準(zhǔn)是為了保證橢偏儀測(cè)量的可重復(fù)性和精確性。已獲得專利的自動(dòng)樣品對(duì)準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進(jìn)行地貌圖測(cè)量，包括翹曲晶片。
SENDURO自帶全面的預(yù)先定義的能夠進(jìn)行多層膜分析的應(yīng)用庫。SENDURO的智能自動(dòng)建模功能能夠在測(cè)量時(shí)正確識(shí)別樣品的結(jié)構(gòu)。
SENTECH′s SENDURO? 軟件能夠測(cè)量單層膜和多層膜的厚度和折射率。全部操作在出色的操作向?qū)е敢峦瓿?，可將操作者的?duì)測(cè)量結(jié)果的影響減小。軟件提供大量測(cè)量應(yīng)用作業(yè)庫，包含自動(dòng)樣品校準(zhǔn)、快速測(cè)量數(shù)據(jù)、擬合、結(jié)果報(bào)告等全部步驟。
The SENDURO? 操作軟件帶有強(qiáng)大的分析工具，如自動(dòng)建模、卓越的結(jié)果輸出功能、廣泛的可針對(duì)用戶定制的材料和膜層數(shù)據(jù)庫，可輕松更改現(xiàn)有的或創(chuàng)建全新的測(cè)量應(yīng)用程序。軟件包含建模、仿真、擬合等功能，可出色完成對(duì)復(fù)雜樣品的分析。密碼控制用戶管理支持多用戶，并保證數(shù)據(jù)安全。