波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量
波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量
波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量
波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量
波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE 400adv 絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量

波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE-400adv-絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量

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品牌 SENTECH
入射角 δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
是否進(jìn)口 是
用途 測(cè)量單晶硅樣片、多晶硅樣片
主要用途 按需
產(chǎn)品尺寸 按需
產(chǎn)地 德國(guó)
質(zhì)保 一年
型號(hào) SE 400adv
商品介紹

波恩儀器銷(xiāo)售德國(guó)SENTECH儀器多角度激光橢偏儀SE400adv  絨面多晶硅和單晶硅減反膜厚測(cè)量


激光橢偏儀 SE 400adv

激光橢偏儀SE 400adv測(cè)量透明薄膜的厚度和折射率指數(shù)，具有測(cè)量速度、亞埃級(jí)別的厚度精度和折射率測(cè)定的精度。多角度測(cè)量允許使用激光橢偏儀SE 400adv表征吸收膜特征。

亞埃精度

穩(wěn)定的氦氖激光器保證了0.1埃精度的超薄單層薄膜厚度測(cè)量。

擴(kuò)展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動(dòng)角度計(jì)和角度精度優(yōu)越的激光橢偏儀允許測(cè)量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

高速測(cè)量

我們的激光橢偏儀SE 400adv的高速測(cè)量速度使得用戶可以監(jiān)控單層薄膜的生長(zhǎng)和終點(diǎn)檢測(cè)，或者做樣品均勻性的自動(dòng)掃描。

激光橢偏儀SE 400adv可用于從可選擇的、應(yīng)用特定的入射角度表征單層薄膜和基片。自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡確保在大多數(shù)平坦反射表面的吸收或透明襯底上進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。多角度測(cè)量的完全集成支持(40°—90°,5°步進(jìn))，可用于確定層疊的厚度、折射率和消光系數(shù)。為了補(bǔ)償激光橢偏測(cè)量中厚度測(cè)量的模糊性，在厚度測(cè)量中也采用了多角度測(cè)量。

SENTECH激光橢偏儀SE 400adv，用于超薄單層薄膜的厚度測(cè)量。小型臺(tái)式儀器由橢偏儀光學(xué)部件、角度計(jì)、樣品臺(tái)、自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡、氦氖激光光源和檢測(cè)單元組成。我們的激光橢偏儀SE 400adv的選項(xiàng)支持在微電子、光伏、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、顯示技術(shù)、生命科學(xué)、金屬加工等領(lǐng)域的應(yīng)用。

SE 400adv PV 隨機(jī)攜帶適用于絨面多晶硅和單晶硅的樣品臺(tái)。
特別適用于晶硅太陽(yáng)能電池絨面上的減反膜測(cè)量

激光橢偏儀SE 400adv PV

 多角度激光橢偏儀SE 400adv-PV能夠測(cè)量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù)，使用632.8nm波長(zhǎng)氦氖激光器，具有極高的精確度和準(zhǔn)確度。SE 400adv-PV專(zhuān)門(mén)針對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池絨面上的減反膜測(cè)量，具有業(yè)內(nèi)最高的精度和穩(wěn)定性。SE 400adv-PV的功能基于橢圓偏振光原理，一種使用激光偏振光的非接觸光學(xué)反射測(cè)量方式。其主要特點(diǎn)如下


  • SE 400adv不僅能測(cè)量單晶硅樣片，還能測(cè)量多晶硅樣片；（我們可提供真實(shí)樣片測(cè)試報(bào)告供參考，用戶也可提供樣片、我們幫助測(cè)量）
  • SE 400adv能測(cè)量實(shí)際工藝線生產(chǎn)的產(chǎn)品、即粗糙表面的“絨片”（如Textured Silicon），這是業(yè)界唯一的；對(duì)拋光片的測(cè)量精度、準(zhǔn)確度也是業(yè)界第一；
    （我們可提供真實(shí)樣片測(cè)試報(bào)告供參考，用戶也可提供樣片、我們幫助測(cè)量）
  • SE 400adv 配有高靈敏度、低噪聲探測(cè)器，特別適用于對(duì)太陽(yáng)能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強(qiáng)進(jìn)行測(cè)量；
  • SE 400adv 可對(duì)太陽(yáng)能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估，提高測(cè)量精度；
  • SE 400adv 配置有高穩(wěn)定度補(bǔ)償器，保證了Psi角度的測(cè)量范圍為0-90°、Delta角度的測(cè)量范圍為0-360°；此外補(bǔ)償器可減小環(huán)境溫度變化帶來(lái)的影響，即使Delta為0度仍可提供最小的漂移值和最小的測(cè)量誤差；
  • SE 400adv 配置有高精度的自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（ACT），使載物臺(tái)的高度、傾斜度調(diào)整精度、靈敏度達(dá)到最高；配置有計(jì)算機(jī)控制分析器等精密光學(xué)組件，保證測(cè)量的精度；
  • SE 400adv 可進(jìn)行40°－90°范圍內(nèi)的多角度測(cè)量；
  • SENTECH 與其中國(guó)總代理北京東方中科集成科技有限公司，在國(guó)內(nèi)設(shè)有技術(shù)服務(wù)中心，工程師都通過(guò)在德國(guó)原廠培訓(xùn)、具備很強(qiáng)的技術(shù)能力和豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，能為用戶提供完善的售前技術(shù)支持、設(shè)備安裝調(diào)試、現(xiàn)場(chǎng)使用與維護(hù)培訓(xùn)、售后保修維修、應(yīng)用答疑等服務(wù)；
  • 提供中文操作手冊(cè)；

規(guī)格:

    ? 激光波長(zhǎng)632.8 nm
    ? 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái)
    ? 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5o
    ? 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn)

SE 400advanced軟件特征:

    ? 預(yù)先定義應(yīng)用
    ? 多角度測(cè)量
    ? 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫(kù)
    ? 擬合狀況的圖形反饋
    ? 支持多種語(yǔ)言

基本技術(shù)指標(biāo)：

ψ, Δ精度， 90° 入射角:

δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°

長(zhǎng)時(shí)穩(wěn)定性2):

δ(ψ)=±0.1°, δ(Δ)=±0.1°

膜厚精度1)

0.1?,對(duì)100nm單晶硅片上的SiO2薄膜標(biāo)準(zhǔn)樣片；

折射率精度1) 

5×10-4對(duì)100nm單晶硅片上的SiO2薄膜標(biāo)準(zhǔn)樣片；


1) 精度定義為30次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)差
2) 長(zhǎng)時(shí)穩(wěn)定性定義為24小時(shí)內(nèi)90°位置測(cè)量的偏差

選項(xiàng)
?手動(dòng)（自動(dòng)）x-y方向移動(dòng)載物臺(tái)，行程150 mm
?地貌圖 選項(xiàng) (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附接口)
?攝象頭選項(xiàng)，用于取代目鏡進(jìn)行樣品對(duì)準(zhǔn)
?反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米（可適用于光滑透明襯底上 ?模擬軟件）



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公司名稱(chēng) 北京波恩儀器儀表測(cè)控技術(shù)有限公司
聯(lián)系賣(mài)家 李經(jīng)理 （QQ：2019288892）
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