

北京波恩儀器儀表測控技術(shù)有限公司
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北京波恩儀器儀表測控技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 隧道能見度一氧化碳, 隧道COVI檢測器, 隧道亮度檢測器, 隧道照度檢測器, 色溫檢測器, 交通氣象站, 熱成像測溫儀, 人體溫度篩選篩查儀, 紅外熱成像測溫儀, 能見度儀, 超聲波風(fēng)速風(fēng)向檢測器, 路面狀況檢測器, 結(jié)冰傳感器, 天氣現(xiàn)象儀, 空氣質(zhì)量監(jiān)測站, 大氣光通過率儀, 便攜式能見度儀, 便攜式光通過率儀, 黑體熱成像測溫儀, 非接觸式人體測溫儀, 人臉識別測溫一體機, 團霧能見度儀, 一體式氣象站, 激光云高儀, 明渠流量計, 多普勒流速儀, 多參數(shù)水質(zhì)監(jiān)測儀, 自動蒸發(fā)站, 網(wǎng)格化環(huán)境氣象監(jiān)測站
波恩儀器銷售德國SENTECH儀器RM1000/RM2000-反射式膜厚儀-紫外可見光譜反射橢偏儀
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波恩儀器銷售德國SENTECH儀器RM1000/RM2000 反射式膜厚儀 紫外可見光譜反射橢偏儀
反射膜厚儀RM 1000和RM 2000
紫外可見光譜反射干涉式膜厚儀,又叫白光干涉儀,可測量分析膜厚、光學(xué)常數(shù)、材料組分??蓽y量SiNx / mcSi單晶硅太陽能電池防反膜。
擴展折射率指數(shù)測量極限
我們的反射儀的特點是通過樣品的高度和傾斜調(diào)整進行準確的單光束反射率測量,光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對n和k進行重復(fù)測量,對粗糙表面進行測量以及對非常薄的薄膜進行厚度測量。
紫外-近紅外光譜范圍
RM 1000 430 nm – 930 nm
RM 2000 200 nm – 930 nm
高分辨率自動掃描
反射儀RM 1000和RM 2000可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。
反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內(nèi),可以分析5nm~50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。
RM 1000和RM 2000代表高端SENTECH反射儀。臺式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動準直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺、光譜光度計和電源。它可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。
除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外,我們的反射儀還可以測量薄膜(例如,AlGaN on GaN,SiGe on Si)、防反射涂層(例如,紋理硅太陽能電池上的防反射涂層、紫外敏感GaN器件上的防反射涂層),以及小型醫(yī)用支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。
SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對單層膜、多層膜和基底材料進行高精度反射光譜測量??蓪ξ栈蛲该骰咨系耐该骰蛉跷毡∧し治龊穸群驼凵渎?/span>
關(guān)鍵特性:
? 高精度反射率測量,非接觸,正入射光
? 寬光譜范圍,可從 UV至NIR
? 測量反射率曲線R, 薄膜厚度,折射率
? FTPexpert 軟件,用于測量薄膜的光學(xué)參數(shù)
? 測量半導(dǎo)體混合物的組分 (例如: AlGaN on GaN)
? 分析各向異性薄膜
選項:
? 光譜范圍擴展至DUV (200 nm)
? 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm)
? x-y 地貌圖掃描樣品臺和軟件
? 攝象頭
? PC
技術(shù)指標:
型號 | RM 1000 | RM 2000 |
測量數(shù)據(jù) | 反射率R | |
分析和輸出 | 薄膜厚度、折射率和其他數(shù)據(jù) | |
薄膜厚度范圍 | up to 25μm | up to 50μm |
膜厚精度度 | 好于1 nm (對 400 nm SiO /Si) 或好于1%(對厚度大于1000 nm的薄膜) | |
準確度(1 σ) | 0.3 nm (對400 nm SiO2/Si) | |
測量時間 | Typical 300 ms | |
光譜范圍 | 450-920nm | 240-950nm |
光斑直徑 | 80μm | 0.5mm |
光源 | 穩(wěn)定的氘燈和鹵素?zé)艄庠?/span> | |
探測器 | SMA光纖輸入分光計,高性能光電二極管陣列測量光譜強度 | |
機架 | 19” 桌面式控制盒 | |
電源 | 85...264 VAC 寬電壓范圍 | |
電源接口 | IEC 60320-C14 (針對不同國家電源而不同) | |
電源線 | 針對不同國家電源而不同 | |
網(wǎng)絡(luò)連接器 | RJ-45 | |
對用戶PC的需求 | 桌面式PC、顯示器、鍵盤、鼠標,或筆記本電腦,最低配置 600 MHz, 256 MB, 100Mbit網(wǎng)卡(100Base-T), CD-ROM, WinXP系統(tǒng) |

