波恩儀器銷售德國SENTECH儀器RM1000/RM2000 反射式膜厚儀  紫外可見光譜反射橢偏儀

反射膜厚儀RM 1000和RM 2000

紫外可見光譜反射干涉式膜厚儀，又叫白光干涉儀，可測量分析膜厚、光學(xué)常數(shù)、材料組分?？蓽y量SiNx / mcSi單晶硅太陽能電池防反膜。

擴展折射率指數(shù)測量極限

我們的反射儀的特點是通過樣品的高度和傾斜調(diào)整進行準確的單光束反射率測量，光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對n和k進行重復(fù)測量，對粗糙表面進行測量以及對非常薄的薄膜進行厚度測量。

紫外-近紅外光譜范圍

RM 1000 430 nm – 930 nm

RM 2000 200 nm – 930 nm

高分辨率自動掃描

反射儀RM 1000和RM 2000可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。

反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內(nèi)，可以分析5nm～50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。

RM 1000和RM 2000代表高端SENTECH反射儀。臺式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動準直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺、光譜光度計和電源。它可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。

除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外，我們的反射儀還可以測量薄膜(例如，AlGaN on GaN，SiGe on Si)、防反射涂層(例如，紋理硅太陽能電池上的防反射涂層、紫外敏感GaN器件上的防反射涂層)，以及小型醫(yī)用支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。

SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對單層膜、多層膜和基底材料進行高精度反射光譜測量?？蓪ξ栈蛲该骰咨系耐该骰蛉跷毡∧し治龊穸群驼凵渎?/span>

關(guān)鍵特性:
? 高精度反射率測量，非接觸，正入射光
? 寬光譜范圍，可從 UV至NIR
? 測量反射率曲線R, 薄膜厚度，折射率
? FTPexpert 軟件，用于測量薄膜的光學(xué)參數(shù)
? 測量半導(dǎo)體混合物的組分 (例如： AlGaN on GaN)
? 分析各向異性薄膜

選項:
? 光譜范圍擴展至DUV (200 nm)
? 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm)
? x-y 地貌圖掃描樣品臺和軟件
? 攝象頭
? PC

技術(shù)指標: