電子顯微鏡主動隔振臺-隔振臺-主動式隔振臺-Herz

品牌：Herz

型號：AVI-200X

使用范圍：電子顯微鏡主動隔振臺-隔振臺-主動式隔振臺-Herz適用于電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM主動隔振臺,干擾儀防震臺主動隔震臺，輪廓儀防震臺，電子太平隔振臺，超快激光系統(tǒng)隔振臺，時頻系統(tǒng)隔振臺，大型半導體設備隔振臺，激光設備主動隔振臺！是AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界領先的主動隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調的模塊化設計，無需為大多數(shù)儀器（包括大多數(shù)SEM）安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。

工作原理：

安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，最有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營造最適合該設備的條件。主動隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產生作用力，并繼續(xù)產生最佳的振動隔離狀態(tài)。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

產品亮點：

六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)                                                                            

5-20ms響應時間                                                                   

低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單

系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除

緊湊、模塊化的多功能設計

穩(wěn)定性高，能無故障連續(xù)使用多年

無低頻共振、無空氣要求

應用范圍： 

STM                             

AFM                              

干涉儀

摩擦學                           

輪廓儀

高精度計量

升級選項：

可與LFS低頻穩(wěn)定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術參數(shù)：

型號：AVI-200XL

系統(tǒng)配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置

主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。

LEDs 指示輸出階段的過載情況。

單元尺寸(每個):130 x 636 x 112.5 Hmm,

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振單元重量: 10kg

負載能力:400 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常9W

校正力：水平最大4N，垂直最大8N

系統(tǒng)噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz

靜態(tài)柔度：垂直約3.5μm/N，水平約7μm/N

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內/室外使用：僅用于室內

隔振效果：

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