

北京賽米萊德貿(mào)易有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 其他電工電氣輔材
除泡光刻膠品牌-光阻光刻膠-Futurrex
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店鋪主推品 熱銷潛力款
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北京賽米萊德貿(mào)易有限公司
店齡5年
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生產(chǎn)加工
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北京市大興區(qū)
主營(yíng)產(chǎn)品





四、前烘(Soft Bake)
完成光刻膠的涂抹之后,需要進(jìn)行軟烘干操作,這一步驟也被稱為前烘。前烘能夠蒸發(fā)光刻膠中的溶劑溶劑、能使涂覆的光刻膠更薄。
在液態(tài)的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%。雖然在甩膠之后,液態(tài)的光刻膠已經(jīng)成為固態(tài)的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易沾污灰塵。通過(guò)在較高溫度下進(jìn)行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發(fā)出來(lái)(前烘后溶劑含量降至5%左右),從而降低了灰塵的沾污。同時(shí),這一步驟還可以減輕因高速旋轉(zhuǎn)形成的薄膜應(yīng)力,從而提高光刻膠 襯底上的附著性。
在前烘過(guò)程中,由于溶劑揮發(fā),光刻膠厚度也會(huì)減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。
光刻膠的作用
光刻開(kāi)始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應(yīng)用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個(gè)developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能
管感光材料,在光的照射與溶解度發(fā)生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分:感光化臺(tái)物、基體材料和溶劑。在感光化臺(tái)物中有時(shí)還包括增感劑。根據(jù)光刻膠按照如何響應(yīng)紫外光的特性可以分為兩類:負(fù)性光刻膠和
正性光刻膠。
1、負(fù)性光刻膠
主要有聚酸系(聚酯膠)和環(huán)化橡膠系兩大類
2、正性光刻膠
主要以重氮醒為感光化臺(tái)物,以酚醛樹(shù)脂為基體材料。正膠的主要優(yōu)點(diǎn)是分辨率高,缺點(diǎn)是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
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光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)
1.靈敏度(Sensitivity)
靈敏度是衡量光刻膠曝光速度的指標(biāo)。光刻膠的靈敏度越高,所需的曝光劑量越小。單位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。
2.分辨率(resolution)
區(qū)別硅片表面相鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸(CD,Critical Dimension)來(lái)衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。
光刻膠的分辨率是一個(gè)綜合指標(biāo),影響該指標(biāo)的因素通常有如下3個(gè)方面:
(1) 曝光系統(tǒng)的分辨率。
(2) 光刻膠的對(duì)比度、膠厚、相對(duì)分子質(zhì)量等。一般薄膠容易得到高分辨率圖形。
(3) 前烘、曝光、顯影、后烘等工藝都會(huì)影響光刻膠的分辨率。
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