除泡光刻膠品牌 光阻光刻膠 Futurrex
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除泡光刻膠品牌-光阻光刻膠-Futurrex

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北京賽米萊德貿(mào)易有限公司

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商品介紹
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聚焦補(bǔ)償 -15μm
可售賣(mài)地 全國(guó)
膜厚 54μm
掩模尺寸 12μm
縱橫比 4.5
運(yùn)輸方式 貨運(yùn)及物流
光刻膠型號(hào) NR5-8000
曝光能量 1100 mJ/cm22
報(bào)價(jià)方式 按實(shí)際訂單報(bào)價(jià)為準(zhǔn)
產(chǎn)品編號(hào) 13987976
商品介紹
北京賽米萊德貿(mào)易有限公司主營(yíng):光刻膠




NR9-3000PY光刻膠

四、前烘(Soft Bake)

完成光刻膠的涂抹之后,需要進(jìn)行軟烘干操作,這一步驟也被稱為前烘。前烘能夠蒸發(fā)光刻膠中的溶劑溶劑、能使涂覆的光刻膠更薄。

在液態(tài)的光刻膠中,溶劑成分占65%-85%。雖然在甩膠之后,液態(tài)的光刻膠已經(jīng)成為固態(tài)的薄膜,但仍有10%-30%的溶劑,容易沾污灰塵。通過(guò)在較高溫度下進(jìn)行烘培,可以使溶劑從光刻膠中揮發(fā)出來(lái)(前烘后溶劑含量降至5%左右),從而降低了灰塵的沾污。同時(shí),這一步驟還可以減輕因高速旋轉(zhuǎn)形成的薄膜應(yīng)力,從而提高光刻膠 襯底上的附著性。

在前烘過(guò)程中,由于溶劑揮發(fā),光刻膠厚度也會(huì)減薄,一般減薄的幅度為10%-20%左右。


光刻膠的作用

光刻開(kāi)始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應(yīng)用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個(gè)developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能

管感光材料,在光的照射與溶解度發(fā)生變化。

光刻膠成份

光刻膠通常有三種成分:感光化臺(tái)物、基體材料和溶劑。在感光化臺(tái)物中有時(shí)還包括增感劑。根據(jù)光刻膠按照如何響應(yīng)紫外光的特性可以分為兩類:負(fù)性光刻膠和

正性光刻膠。

1、負(fù)性光刻膠

主要有聚酸系(聚酯膠)和環(huán)化橡膠系兩大類

2、正性光刻膠

主要以重氮醒為感光化臺(tái)物,以酚醛樹(shù)脂為基體材料。正膠的主要優(yōu)點(diǎn)是分辨率高,缺點(diǎn)是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

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   光刻膠的主要技術(shù)參數(shù)

1.靈敏度(Sensitivity)

靈敏度是衡量光刻膠曝光速度的指標(biāo)。光刻膠的靈敏度越高,所需的曝光劑量越小。單位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。

2.分辨率(resolution)

區(qū)別硅片表面相鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸(CD,Critical Dimension)來(lái)衡量分辨率。形成的關(guān)鍵尺寸越小,光刻膠的分辨率越好。

光刻膠的分辨率是一個(gè)綜合指標(biāo),影響該指標(biāo)的因素通常有如下3個(gè)方面:

(1) 曝光系統(tǒng)的分辨率。

(2) 光刻膠的對(duì)比度、膠厚、相對(duì)分子質(zhì)量等。一般薄膠容易得到高分辨率圖形。

(3) 前烘、曝光、顯影、后烘等工藝都會(huì)影響光刻膠的分辨率。  

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網(wǎng)址 http://www.semild.com
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