技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)：
◆長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)：高精度線性編碼器
◆導(dǎo)引系統(tǒng)：氣浮軸承
◆驅(qū)動(dòng)速度：520mm/sec
◆加速度：0.17G
◆氣壓：0.4Mpa
◆空氣消耗量：50L/min(500系列) 60L/min(700，900系列) 100L/min(1200系列) 150L/min(1600，2000系列)

性能參數(shù)：

型號(hào)：Crysta-Apex C544 / Crysta-Apex C574 / Crysta-Apex C776 1 Crysta-Apex C7106

三坐標(biāo)（三次元）日常故障如下：

1、電腦與三坐標(biāo)連接不良。 2、RDS側(cè)田無法正常旋轉(zhuǎn)角度。
3、測(cè)針取點(diǎn)時(shí)，經(jīng)常取不到點(diǎn)。 4、測(cè)量精度誤差大。
5、控制面板故障，操縱桿失靈。 6、運(yùn)行時(shí)，氣浮塊與軌道之間的摩擦。
7、側(cè)田吸盤不穩(wěn)定。 8、軟件編程不合理。
9、精度線性，但精度偏差大。 10、手動(dòng)三坐標(biāo)移動(dòng)不順暢 。
11、環(huán)境不好，機(jī)器氣管里面有很多油和水 。