濟(jì)南巴克超聲波科技有限公司主營：超聲波清洗設(shè)備,工業(yè)清洗設(shè)備,噴淋清洗機(jī),碳?xì)淝逑礄C(jī)

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少，對控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來越先進(jìn)，對實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對雜質(zhì)含量越來越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)簡介

3.清洗工藝流程

3.1清洗機(jī)動作描述：工件經(jīng)工人裝入清洗機(jī)入清洗腔→關(guān)閉密封門→雙手按下啟動按鈕→噴淋管開始工作→工作轉(zhuǎn)臺360度旋轉(zhuǎn)。）→清洗結(jié)束后管道自動切換到吹氣系統(tǒng)→對工件進(jìn)行脈沖狀的切水處理→切水結(jié)束后密封門打開→人工下料

適用：該設(shè)備適用于汽車、工程機(jī)械、航空航天等行業(yè)的各類結(jié)構(gòu)復(fù)雜五金零件、油泵閥體清洗。

機(jī)械零部件清洗機(jī)清洗機(jī)

一、 主要參數(shù)（一道清洗+一道風(fēng)切）：

1、清洗節(jié)拍：180S以上；

2、清洗壓力：0.4Mpa以上；

3、裝機(jī)功率約：15KW；

4、占地尺寸約： 1200 L *1500W*1500H（mm）；

二、 單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)主要優(yōu)勢：

1、占地面積小，節(jié)約場地；

2、兼容性高，可兼容多種產(chǎn)品（無清潔度要求或清潔度要求較低）；

3、三級循環(huán)過濾，有效延長清洗液的使用時(shí)間；

4、儲液槽外貼保溫棉，節(jié)約能源；