

昆山熙日機械設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品: 愛德華真空泵維修, 萊寶真空泵油, 愛發(fā)科真空泵維修, 普發(fā)真空泵維修
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昆山熙日機械設(shè)備有限公司
店齡4年
企業(yè)認(rèn)證
聯(lián)系人
張小力
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所在地區(qū)
江蘇省蘇州市
主營產(chǎn)品
iGX 干泵真空系統(tǒng)
iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現(xiàn)代干泵樹立了新標(biāo)準(zhǔn);這 使其成為了世界上的干泵之一,目前已在大多數(shù) 領(lǐng)先的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網(wǎng)連接,允許通過網(wǎng)頁查看 主要數(shù)據(jù),同時包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項, 可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍 很寬,并可以改變以適合各種應(yīng)用條件,包括從清潔 到中等負(fù)載制程。模塊化設(shè)計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項,包括工具上、近程和遠程操作。
通過使用 iGX 干泵技術(shù), 整個工廠通常可以在設(shè)施成本方面實現(xiàn) 40%* 的節(jié)省 (與 iL/iH 干泵相比)。
*基 于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。
應(yīng)用
目標(biāo)應(yīng)用包括:
PVD
電介質(zhì)刻蝕
導(dǎo)體刻蝕
金屬刻蝕
植入源
客戶也將 iGX 用于一系列 清潔和輕負(fù)載應(yīng)用。
主要特性和優(yōu)勢
低功耗和零預(yù)防性維護,可降低擁有成本
小巧輕便,可使用靈活的 安裝選項
高性能電機和變頻器驅(qū)動裝置
待機模式使用環(huán)保模式,功耗 更低
高導(dǎo)熱性材料和 優(yōu)良設(shè)計可實現(xiàn)低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣?
精密陶瓷軸承 可確保高負(fù)載容量,因而更加可靠
低振動和小于 55 dB(A) 的低噪聲,可以安裝在操作中同附近
泵系列
iGX100
iGX600
iGX1000
