iXL 系列是系列低能耗緊湊型干泵，適用于輕量應(yīng)用，例如晶片處理、PVD 和計量。

• 快速腔體抽空和極低功耗 

• iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵是輕量應(yīng)用中最小、最安靜的泵之一 

• iXL600M 和 iXL1000M 兩種型號經(jīng)過工藝加固，專門設(shè)計用于電介質(zhì)（氧化）蝕刻和其他類似應(yīng)用 

• iXL600(N) 和 iXL1000(N) 干泵具有高抽取速度和低能耗的特點

• iXL900R 是目前同類產(chǎn)品中速度最快的負載鎖定泵，用于 FPD 負載鎖定應(yīng)用。使用這種新型泵，客戶可以顯著降低其運營成本和安裝時間，特別適用于等離子體氣相沉積 (PVD) 應(yīng)用的負載鎖定腔室。此外，每個負載鎖定腔室需要的泵會更少，從而減少了客戶的安裝時間、系統(tǒng)化成本、維護和公共設(shè)施消耗。

• “綠色模式”可減少閑置期間的公共設(shè)施使用、降低成本并有助于提高環(huán)境績效

iXL 高性能干式真空泵機組

iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽能制造市場 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。

這些性能領(lǐng)先的 泵旨在限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無須 維護。

適用于半導(dǎo)體和太陽能應(yīng)用的小型 iXL 干泵

iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可 快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低?？?用于負載鎖定和清潔應(yīng)用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環(huán)境。

一流的艙室抽空時間可減少 總體平均循環(huán)時間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功耗 有助于程度減少客戶擁有成本

環(huán)保模式可以在空閑 期間最多減少 92% 的功耗

35oC 的水 供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求

極小且極輕， 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

適用于嚴(yán)苛應(yīng)用的大型 iXL 干泵

iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負載應(yīng)用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的最小且最安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率，從而降低成本并幫助保護環(huán)境。

一流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功 耗有助于程度減少客戶擁有成本

環(huán)保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗

35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求

極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUP

IPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應(yīng)用。其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間，同時程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環(huán)境。

適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用， 可提高處理能力，同時減少能耗。

3 萬億次循環(huán) MTBF

與原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%

提供適用于現(xiàn)有 IPUP? 的 插入式替換部件