AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和。

人機工程學(xué)設(shè)計，操作方便       

• 可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。           
• 分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。           

堅固、可靠和傳送       

• 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性，能夠可靠的傳送300mm晶圓。           
• 薄片，Warped晶圓皆能搬送。           
• 宏觀觀察位置的最優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。           

專用宏觀照明裝置       

專用宏觀照明裝置

為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式                        
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源照射。