找商網(wǎng)手機(jī)端：m.zhaosw.com
掃一掃 
掃一掃添加商家
收藏 
伯東公司供應(yīng)KRI-霍爾離子源-eH-1000
價格
訂貨量(個)
面議
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
聯(lián)系人 羅月 
掃一掃添加商家
钳钼钹钺钳钴钼钳钺钵钸
發(fā)貨地 廣東省深圳市
在線客服
商品參數(shù)
|
商品介紹
|
聯(lián)系方式
型號 eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO
供電 DC magnetic confinement
電壓 40-300V VDC
電源控制 eHx-30010A
底座 移動或快接法蘭
商品介紹
KRI 霍爾離子源 eH 1000
上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 霍爾離子源 eH 1000 高效氣體利用, 低成本設(shè)計提供高離子電流, 特別適合中型真空系統(tǒng). 通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.
尺寸: 直徑= 5.7“ 高= 5.5”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 10A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體
KRI 霍爾離子源 eH 1000 特性:
? 可拆卸陽極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時, 最大限度地減少停機(jī)時間; 即插即用備用陽極
? 寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率
? 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便; 無需水冷
? 高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制
KRI 霍爾離子源 eH 1000 技術(shù)參數(shù):
型號 | eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO |
供電 | DC magnetic confinement |
- 電壓 | 40-300V VDC |
- 離子源直徑 | ~ 5 cm |
- 陽極結(jié)構(gòu) | 模塊化 |
電源控制 | eHx-30010A |
配置 | - |
- 陰極中和器 | Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
- 離子束發(fā)散角度 | > 45° (hwhm) |
- 陽極 | 標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved |
- 水冷 | 前板水冷 |
- 底座 | 移動或快接法蘭 |
- 高度 | 4.0' |
- 直徑 | 5.7' |
- 加工材料 | 金屬 |
- 工藝氣體 | Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
- 安裝距離 | 10-36” |
- 自動控制 | 控制4種氣體 |
* 可選: 可調(diào)角度的支架; Sidewinder
KRI 霍爾離子源 eH 1000 應(yīng)用領(lǐng)域:
? 離子輔助鍍膜 IAD
? 預(yù)清洗 Load lock preclean
? 預(yù)清洗 In-situ preclean
? Direct Deposition
? Surface Modification
? Low-energy etching
? III-V Semiconductors
? Polymer Substrates
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!
聯(lián)系方式
公司名稱 深圳伯東
聯(lián)系賣家 羅月
手機(jī) 钳钼钹钺钳钴钼钳钺钵钸
地址 廣東省深圳市
聯(lián)系二維碼
羅月
钳钼钹钺钳钴钼钳钺钵钸
掃碼查看 掃碼查看
手機(jī)掃碼 快速查看
在線客服 
