歡迎咨詢-MEMS微電子產(chǎn)品Parylene納米鍍膜加工廠家

百騰科技（蘇州）有限公司是一家新加坡獨(dú)資企業(yè)。為廣大客戶提供納米真空鍍膜解決方案。派瑞林鍍膜技術(shù)廣泛用于航空航天、電路板、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫(yī)療器械、珍貴文物等領(lǐng)域； 歡迎廣大客戶選購本公司真空涂敷設(shè)備及派瑞林原料或來料涂層加工。公司宗旨:為顧客創(chuàng)造價(jià)值,為員工創(chuàng)造機(jī)會(huì),為社會(huì)創(chuàng)造效益！歡迎咨詢-MEMS微電子產(chǎn)品Parylene納米鍍膜加工廠家。

型號(hào)：百騰PentaPTP-5HV歡迎咨詢-MEMS微電子產(chǎn)品Parylene納米鍍膜加工廠家。

用途：經(jīng)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有極高的絕緣強(qiáng)度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用。

適用范圍：航空航天、電路板、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫(yī)療器械、珍貴文物等領(lǐng)域。

Parylene納米鍍膜技術(shù)在MEMS及半導(dǎo)體產(chǎn)品上的應(yīng)用

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。

Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有針孔，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

Parylene納米鍍膜技術(shù)在LED產(chǎn)品上的應(yīng)用

LED顯示屏和燈條廣泛應(yīng)用于交通道路、戶外廣場(chǎng)、機(jī)場(chǎng)等潮濕惡劣環(huán)境中，勢(shì)必要對(duì)LED產(chǎn)品的防護(hù)等級(jí)有了更高的要求。派瑞林涂層與傳統(tǒng)的灌膠方式相比，膜層更薄且均勻、散熱性更好、不易龜裂、符合國際環(huán)保要求、且可達(dá)到國際規(guī)范的IP55-IP68的防塵防水要求，因此近年來派瑞林涂層廣泛應(yīng)用于LED產(chǎn)品的防護(hù)上，使其具有更好的防潮、防水、耐酸堿、耐腐蝕等功能。

Parylene納米鍍膜技術(shù)利用化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）。CVD工藝應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的外延生產(chǎn)，整個(gè)過程是氣態(tài)反應(yīng)，又在真空條件下進(jìn)行，因而可以獲得非常均勻的涂層，達(dá)到其它方法難以實(shí)現(xiàn)的同形性。過程主要有三步：

1.真空150℃左右條件下，固態(tài)派瑞林材料升華成氣態(tài)。

2.真空680℃左右條件下，將氣態(tài)雙裂解成活性單體。

3.真空常溫下，氣態(tài)單體在基體上生長聚合。