產(chǎn)品名稱：spectron壓力控制面板(SP6)

品牌：德國spectron

產(chǎn)地：德國

型號：SP6

產(chǎn)品特性

? 壓力控制面板適用于危險性氣體和純度高于6.0的超高純氣體
? SBE: 吹掃連接模塊或
  SR: 進(jìn)氣盤管和單個閥并配
  - 手動廢氣排放閥 (HPV)
  - 手動進(jìn)氣閥 (HPI)
  - 手動吹掃進(jìn)氣閥 (PGI)
? 單向閥以防止工藝氣體進(jìn)入吹掃氣體管路中
? 內(nèi)置過濾器
? 減壓閥為綁定式膜片結(jié)構(gòu)
? 配置爆破片
? 泄漏和真空測試口
? **小的吹掃體積 (SBE模塊)
? 不銹鋼膜片式截止閥可選手動或氣控式
? 電解拋光表面 (與氣體接觸區(qū)域)
? 清晰的手輪位置指示 (開/關(guān))
? 100 % 氦氣檢測
? 在ISO 5.0等級的潔凈室內(nèi)組裝
? 有多種可選項的模塊化設(shè)計

技術(shù)參數(shù)

工作壓力：** 300 bar
材料：閥體:不銹鋼 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它與氣體接觸零件: 不銹鋼 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度：R?,** ≤ 0,25 μm
(與氣體接觸區(qū)域) R?,平均 ≤ 0,18 μm
泄漏率：(對外): 1 x 10?? mbar l/s He
(對內(nèi)): 1 x 10?? mbar l/s He
溫度范圍：-20°C 到 +60°C