OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列

OSAKA大阪真空全方位安裝復(fù)合分子泵-TG-F系列

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聯(lián)系人 魏經(jīng)理

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發(fā)貨地 上海市閔行區(qū)
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品牌 OSAKA大阪真空
吸氣口法蘭 VG100 CF100 ISO-R100
極限壓力 <1×10-6Pa
啟動時(shí)間 2-2.5min
停止時(shí)間 5-6.5min
安裝角度 任意
商品介紹


OSAKA大阪真空

全方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列

使用了脂潤滑陶瓷軸承，實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強(qiáng)，可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產(chǎn)品。

產(chǎn)品型號：

TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

產(chǎn)品特點(diǎn)：

全方位安裝
 輕巧設(shè)計(jì)
 節(jié)能
 迅速啟動

 使用破控功能可迅速停止

 耐大氣沖擊能力強(qiáng)

 多種通信模式

 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

產(chǎn)品應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質(zhì)
?各種電子部件的制造
?分析，試驗(yàn)裝置
?管球制造，光學(xué)部件制造
?加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時(shí)，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列


技術(shù)參數(shù)：

吸氣口法蘭VG100
CF100
ISO-R100
排氣速度VG/ISO-R?CF N2 (L/s)350/330
VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)330/310
VG/ISO-R?CF H2 (L/s)210
zui大壓縮比N21×108
H22×103
極限壓力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
zui大氣體流量※1N2 (sccm)500
啟動時(shí)間(min) 2-2.5
停止時(shí)間(min)5-6.5
允許輔助壓力(Pa/Torr)260/2
推薦輔助泵(L/min)≧80
安裝角度任意
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6

  • ※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的zui大容許流量
  • [ 使用環(huán)境溫度 ]
  • 極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。

  • 控制器型式TC353
    輸入電壓(ACV)100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
    輸入頻率(Hz)50/60
    相數(shù)単相
    所需zui大電力(VA)610
    輸出頻率(Hz)750
    重量(kg)2.7
    標(biāo)準(zhǔn)附屬品?輸入接頭 1個(gè)
    ?遠(yuǎn)控接插頭 1個(gè)
    ?通信接插頭1個(gè)
    ?使用說明書 (機(jī)身，通信)各1套



聯(lián)系方式
公司名稱 上海盈熾商貿(mào)有限公司
聯(lián)系賣家 魏經(jīng)理
手機(jī) 䝒䝕䝔䝒䝕䝑䝔䝖䝐䝘䝔
地址 上海市閔行區(qū)