工廠低價(jià)轉(zhuǎn)讓2臺進(jìn)口日本OTFC-1800CBI/DBI光學(xué)真空鍍膜機(jī)
真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H) 
工件架 φ1600mm 
工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變) 
光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式或透射式 
石英晶振膜厚計(jì) XTC/3+6點(diǎn)式石英晶體傳感器 
蒸發(fā)源 電子槍2套 
離子源 23cmRF離子源 
排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+2個擴(kuò)散泵+Polycold（或2個冷凝泵） 

性能：
達(dá)到壓力 7.0×10-5 Pa 以下 
排氣時(shí)間 20分（大氣壓～1.3×10-3 Pa) 
基板溫度 最高：350℃ 
特點(diǎn)：
OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

工作條件：
設(shè)備尺寸 約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) 
電源 3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA 
水流量 180升/分以上 
空氣壓力 0.5MPa以上 
重量 約11200kg