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北京華測試驗(yàn)儀器有限公司 
商易通標(biāo)準(zhǔn)會(huì)員
北京華測試驗(yàn)儀器有限公司
店齡6年 · 
企業(yè)認(rèn)證 · 
北京市海淀區(qū)
主營產(chǎn)品: 沖擊電壓試驗(yàn)儀, 耐電弧測試儀, 數(shù)字電荷儀, 表面體積電阻率測試儀, 納米測試儀, 海綿壓陷硬度測試儀, 納米犬分析測試儀, 多功能精密電池測試分, 高壓漏電起痕試驗(yàn)機(jī)
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店齡6年 · 企業(yè)認(rèn)證 · 北京市海淀區(qū) 北京華測試驗(yàn)儀器有限公司
主營產(chǎn)品： 沖擊電壓試驗(yàn)儀, 耐電弧測試儀, 數(shù)字電荷儀, 表面體積電阻率測試儀, 納米測試儀, 海綿壓陷硬度測試儀, 納米犬分析測試儀, 多功能精密電池測試分, 高壓漏電起痕試驗(yàn)機(jī)
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ADVANCED離子束刻蝕系統(tǒng)金屬材料刻蝕
價(jià)格
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￥9990.00
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聯(lián)系人 肖工 
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發(fā)貨地 北京市海淀區(qū)
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商品介紹
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是否進(jìn)口 是
加工定制 是
類型 離子束刻蝕系統(tǒng)
品牌 ADVANCED
型號(hào) ADVANCED
刻蝕速率 200nm/min
基片尺寸 ≤4英寸
刻蝕氣體 Ar
刻蝕均勻性與重復(fù)性 3英寸襯底均勻性優(yōu)于±5% ，重復(fù)性優(yōu)于±5%
是否跨境 是
商品介紹
離子束刻蝕系統(tǒng)
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一、離子束刻蝕系統(tǒng)產(chǎn)品簡介
離子束刻蝕系統(tǒng)的基本原理是利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子，氬離子經(jīng)過陽極電場的加速對(duì)樣品表面進(jìn)行物理轟擊，以達(dá)到刻蝕的作用。把Ar氣充入離子源放電室并使其電離形成等離子體，然后由柵極將離子呈束狀引出并加速，具有一定能量的離子束進(jìn)入工作室，射向固體表面轟擊固體表面原子，使材料原子發(fā)生濺射，達(dá)到刻蝕目的，屬純物理刻蝕。
二、離子束刻蝕系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)：
1.極限真空：9′10-5Pa
2.刻蝕均勻性與重復(fù)性：3英寸襯底均勻性優(yōu)于±5% ，重復(fù)性優(yōu)于±5%
3.刻蝕速率:200nm/min
4.基片尺寸：≤4英寸
5.刻蝕氣體：:Ar
三、離子束刻蝕系統(tǒng)主要用途主要用于金屬材料的刻蝕
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公司名稱 北京華測試驗(yàn)儀器有限公司
聯(lián)系賣家 肖工 
（QQ：479014311）
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地址 北京市海淀區(qū)
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