高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過(guò)程都需要氧,例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì),氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃,用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料,它比其他燃料更便宜。