全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)開發(fā)而來，集成了VIEW最先進的設計和技術。新的PRECIS包括許多可配置的選項，使該系統(tǒng)更加通用、實用和可靠：

擴展Z軸范圍-2.5mm，5mm或100 mm.

透射照明

完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準。

符合人體工程學的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器,符合SEMI S8

全自動程序控制顯微鏡頭

兆像素分辨率攝像頭

VIEW Metrology Software (VMS?) 可以測量的零件類型很廣泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差判定。

MMWin – Wafer和Mask測量軟件 –晶圓的重要尺寸和迭置重合測量, slider ABS,光掩模和平板顯示器。