高純蒸發(fā)料

蒸發(fā)作為PVD技術(shù)的一種，被廣泛應用于半導體行業(yè)中的芯片背面金屬化工藝，中諾新材（北京）科技有限公司作為專業(yè)的PVD薄膜材料供應商，可以提供各種規(guī)格的全系列高純金屬蒸發(fā)材料。這些材料可做成絲狀，片狀，顆粒狀。適用于鎢絲籃加熱蒸發(fā)，鎢舟，鉬舟蒸發(fā)，各種坩堝蒸發(fā)等。

同時，這些材料亦廣泛應用于精密合金熔煉、高純化合物制備以及高品質(zhì)晶體制備等領(lǐng)域。

粉末冶金說明

中諾新材（北京）科技有限公司有專業(yè)的冷壓燒結(jié)設備，熱壓燒結(jié)設備，熱等靜壓設備。采用粉末冶金工藝，經(jīng)過熱處理，機械處理及精密的機加工工藝，專業(yè)定制不同配比、不同尺寸的難熔金屬材料及脆性材料的合金靶材。采用該工藝制備的靶材能夠保證準確的合金配比，組織均勻，致密度高。

部分定制產(chǎn)品如下：鈦鋁合金 鉻鋁合金 鐵錳合金 銥錳合金 鈷鐵硼合金 鎢鈦合金 銅銦硒

貴金屬靶材尺寸

金、銀、鉑、鈀濺射靶材通過熔煉提純、澆鑄成錠，鍛造軋制和精密機加工制造而成。純度均可達到99.99%，主要應用于電子半導體、太陽能光伏、平面顯示、磁學等行業(yè)。

釕、銠、銥濺射靶材采用高純金屬粉末為原料，通過粉末冶金鑄錠，并精密機加工成靶，產(chǎn)品純度可達99.95%。主要應用于電子半導體、磁學等行業(yè)。

常規(guī)靶材有：

高純金 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純銀 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純鉑 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純鈀 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

高純釕 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm

高純銠 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

高純銥 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

常規(guī)厚度1-6mm

可定制加工的圓靶方靶，可提供靶材綁定服務。