二手日本光馳OTFC-1550/1800電子束蒸發(fā)鍍膜機/AR AF膜電鍍機雙電子束蒸發(fā)鍍膜機 OTFC-1800CBI/DBI

銷售技術楊經理18103045976

機械特點：

真空室尺寸：Φ600-1800mm

60點/80點式光學膜厚監(jiān)控

使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

搭載雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程

工件架可選擇鐘罩式或行星式

排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

設備尺寸：

設備型號 OTFC-1800CBI/DBI

真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H)

工件架 φ1600mm

工件架轉速 10rpm to 30rpm(可變)

光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀

波長范圍：350nm to 1100nm