

蘇州譜瑞孚精密測量技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 振動分析儀
地面振動檢測服務(wù)
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地面微振動測試,平臺微振動測試簡介:
振動敏感設(shè)備的通用振動標準在設(shè)計用于研究、微電子制造和類似活動的設(shè)施時,通常需要具有通用的振動標準(即適用于設(shè)備類別和活動),而不是特定于設(shè)備的特定項目。本文描述了基于三分之一倍頻程振動速度譜的一組標準的推導(dǎo)和使用。本文還討論了制定設(shè)備振動靈敏度測量方法和標準的必要性。呼吁設(shè)備制造商和用戶分別制定和要求真實準確的規(guī)范。隨著高科技界進入“納米時代”,這一點尤為重要;
對機加工,磨床,CNC機床地面也有著隔振設(shè)計規(guī)范,需要對防止這些設(shè)備的地面或平臺進行振動測試,根據(jù)加工精度,對應(yīng)不同標準進行判定,判斷當(dāng)前振動是否超標。
無錫某韓國企業(yè),半導(dǎo)體行業(yè)光刻機,蝕刻機等精密設(shè)備,對設(shè)備平臺單獨進行隔振設(shè)計,平臺搭建完成后,對隔振平臺進行微振動測試,判斷是否符合微振動標準。
國內(nèi)知名大學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備研究院,房間周圍有空調(diào)設(shè)備運行,需要對半導(dǎo)體設(shè)備進行微振動測試,看空調(diào)運行對平臺振動的影響大小,振動是否符合地面微振動標準。