跟著小型超聲波清洗機清洗配備的使用領(lǐng)域越來越遍及，各種通過不時完美和改進的別致超聲波清洗配備正在替代已面市的新式配備。兆赫超聲波清洗技能是指選用頻次700KHz—2MHz的超聲波停止清洗。清洗瑣細(xì)一般由壓電換能器擺設(shè)、清洗容器和清洗液、高頻電功率發(fā)生器及把握電路等構(gòu)成，對于某些特定的清洗目標(biāo)，有時還配有熱氣氛烘干、共用清洗架(籃)及清洗液的過濾循環(huán)瑣細(xì)。 目前，國外市場上 已有商用的兆赫超聲波清洗機。美國Verteq、Imtec、ProSys公司已開宣布這類設(shè)備用于半導(dǎo)體出產(chǎn)線上 ，在對100—300mm硅片的清洗中，可除掉硅片表面上小到0．15μm的細(xì)小顆粒，并且可加快漂洗過 程并有效地阻撓粒子在硅片表面上從頭附著。

近10年來，超聲波清洗機正執(zhí)政兩個方面開展。其一 是，各種類型的多缸或傳動鏈?zhǔn)交蛏凳匠暻逑闯霎a(chǎn)線相繼面市；其二是，低頻超聲波清洗機向高頻超聲 波清洗機的開展。在美國、日本、歐洲以及亞太市場上，多缸式超聲波清洗機總量已呈明顯上升之勢，高 達總量的50％，而多工位半自動、全自動傳動鏈?zhǔn)交蛏凳匠暡ㄇ逑淳€體設(shè)備也已上升到總量的40％以上 。