

似空科學儀器(上海)有限公司
主營產(chǎn)品: 體視顯微鏡,芯片開封機,研磨拋光機,影像測量儀,超聲波顯微鏡,三坐標測量儀
概倫電子-ProPlus-FS-Pro半導體參數(shù)分析儀
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似空科學儀器(上海)有限公司
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?FS-Pro?半導體參數(shù)分析儀
概倫電子為您帶來革命性的量測設備 FS-Pro?,將人工智能算法應用于半導體參數(shù)測試,大幅提升測試速度和測試能力。無論是在科研領域還是工業(yè)生產(chǎn),您都能感受到技術的力量。 |
產(chǎn)品特點
一體化測試
FS-Pro?集成直流測試,脈沖測試,瞬態(tài)測試,電容測試和低頻噪聲(1/f 噪聲) 測試于單臺儀器中,無需換線和重新探針即可完成全部低頻參數(shù)化表征。
超快速
FS-Pro?引入人工智能驅動測試技術,相比傳統(tǒng)半導體參數(shù)測試系統(tǒng)其測試速度最高可達 10 倍,在強大速度提升的同時仍保持測試精度。
模塊化架構
FS-Pro?支持模塊化架構,在保持緊湊機身的同時又可依照需求擴展,并且支持多通道并行測試,最高可達 20 路通道,輕松應對高密度生產(chǎn)測試。
操作便捷
內(nèi)置測量控制軟件 LabExpress?擁有直觀的用戶圖形界面,僅需點擊幾下鼠標就可以完成強大的測試分析功能,同時可以支持多種探針臺矩陣開關等設備,輕松完成晶圓級數(shù)據(jù)的自動測試任務,更針對半導體制造提供了完善的解決方案。
主要組件性能指標
FS380 高精度源測量單元 SMU
? 直流測試
±200V/1A 量程,最高 20W 輸出功率,最小 30fA電流測量精度,30uV 電壓測量精度,四象限操作
? 脈沖測試
±200V/3A 量程,最高 480W 輸出功率,最小 5pA電流測量精度,30uV 電壓測量精度,最小脈沖寬度 50us
? 瞬態(tài)測試
任意波形輸出,最高采樣率 1.8MS/s,最小 10us時間步進
? 電容測試(CV)
±200V/1A 量程,最高 10kHz 帶寬
最大可測量范圍 20fF~1mF
? 1/f 噪聲測試
標準 100kHz 帶寬,最小頻率分辨率可達 1mHz,最低可測至 2e-282?,每個偏置點最小測試時間<10s,支持 RTN 測試
FS360 中精度源測量單元 SMU
? 直流測試
±60V/3A 量程,最高 20W 輸出功率,最小 300fA電流測量精度,30uV 電壓測量精度,四象限操作
? 脈沖測試
±60V/10A 量程,最高 500W 輸出功率,最小40pA 電流測量精度,30uV 電壓測量精度,最小脈沖寬度 50us
? 瞬態(tài)測試
任意波形輸出,最高采樣率 1.8MS/s,最小 10us時間步進
? 電容測試(CV)
±60V/3A 量程,最高 10kHz 帶寬
最大可測量范圍 200fF~1mF
? 1/f 噪聲測試
標準 100kHz 帶寬,最小頻率分辨率可達 1mHz,最低可測至 9e-272?,每個偏置點最小測試時間<10s,支持 RTN 測試
FS336 寬帶外置 LCR 模塊
- 電容測試(CV,CF)
±40V 量程,40Hz~5MHz 帶寬最大可測量范圍 100fF~10mF
FS338 高速高精度外置 LCR 模塊
- 電容測試(CV)
±40V 量程,20Hz~2MHz 帶寬最大可測量范圍 10fF~10mF
PX600 4 通道臺式主機箱 FS-Pro?系統(tǒng)臺式主機箱,31.8cm(W)X 18cm(H) X 35cm(D)的緊湊身材,總重量只有 10kg,可搭載 FS380 高精度 SMU 或 FS360 中精度 SMU,最多 4 路通道。集成控制器和 11 寸顯示屏,Core i5 低電壓 CPU,4G 內(nèi)存,500G SSD 硬盤,Windows 10 操作系統(tǒng),預裝 LabExpress?基礎版測試軟件。 LabExpress?量測軟件提供完整的直流,脈沖,瞬態(tài),電容和噪聲測試功能,內(nèi)建常見 MOSFET,BJT,二極管,電阻,電容器件類型庫,測試類型豐富齊全,沒有器件知識的新人也可以輕松上手,更針對半導體晶圓廠的日常應用提供了一整套解決方案。在測試數(shù)據(jù)分析功能上 LabExpress?也毫不遜色,豐富的曲線變換與繪圖功能,常用的代數(shù)運算操作,使即時結果分析變得更加簡單。 典型應用領域包括但不限于: ? MOSFET,BJT 晶體管 ? 二極管與 PN 結 ? III-V 族化合物 ? 二維材料 ? 光子檢測器件 ? 鈣鈦礦與太陽能電池 ? LED 與薄膜晶體管 ? 非易失性存儲器與材料 ? MEMS 與傳感器 ? 分子與納米器件 ? 半導體器件特性分析與建模 ? 器件噪聲特性分析 ? 先進工藝節(jié)點下的產(chǎn)線測試 |
FS-Pro 基礎信息(使用 PX600 臺式機箱)
尺寸 | 31.8cm (寬)X 18cm (高) X 35cm (深) |
重量 | 10 千克 |
電氣輸入 | 100V~240V,50/60Hz |
操作環(huán)境 | 0~50℃, 相對濕度 20%~80%, 最高海拔 2000m (800mbar @25℃), 僅可室內(nèi)操作 |
控制器 | i5 低電壓 CPU, 4G 內(nèi)存, 500G SSD 硬盤 11 英寸集成顯示器 具備 USB, LAN 以及視頻接口 Windows 10 64bit, LabExpress 基礎測試軟件 |
SMU | 4 路通道 三軸接口,帶有遠端感應接口(remote sense)和高壓安全鎖 |
共地端 | BNC 和三軸接口 |
受控方式 | 通過 LAN 端口受控,開放 API 編程接口 |
