探針式輪廓儀/臺(tái)階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀也叫臺(tái)階儀，能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的臺(tái)階高度測(cè)量，可選配三維測(cè)量功能。D-600型臺(tái)階儀還可以在研發(fā)與生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度與薄膜應(yīng)力的測(cè)量，配置200mm自動(dòng)移動(dòng)樣品臺(tái)與先進(jìn)的弧形矯正的輔助光學(xué)系統(tǒng)。 

產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的二維與三維測(cè)量，以及翹曲度和薄膜應(yīng)力的測(cè)量。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大范圍測(cè)量與超微力測(cè)量于一體的功能。

探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可以對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

主要功能

· 臺(tái)階高度：幾納米至1200μm

· 低觸力：0.03至15mg

· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

· 緊湊尺寸：占地面積小

· 軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

· 臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度與3D臺(tái)階高度

· 紋理：2D粗糙度和波紋度

· 形式：2D翹曲和形狀

· 應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

· 大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

· 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

· SIMS：二次離子質(zhì)譜

· LED：發(fā)光二極管

· 太陽(yáng)能

· MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

· 汽車

· 醫(yī)療設(shè)備

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